[发明专利]用于安装导电球的设备有效
| 申请号: | 201910249189.0 | 申请日: | 2019-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN111162024B | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
| 发明(设计)人: | 高允成;行森美昭 | 申请(专利权)人: | 普罗科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址: | 韩国京畿道安养市东*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 安装 导电 设备 | ||
1.一种用于安装导电球的设备,其特征在于,包括:
掩模,包括多个安装孔,所述多个安装孔形成为使得多个导电球安装在所述多个安装孔中;
支撑板,支撑所述掩模以通过利用接触所述掩模的下部表面阻挡所述多个安装孔中的每一个的下部部分来防止所述掩模的变形;
安装单元,在所述掩模由所述支撑板支撑时,将所述多个导电球安装在所述掩模的所述多个安装孔中;
固持单元,接触所述掩模的上部表面以将分别安装在所述掩模的所述安装孔中的所述导电球维持在安装于所述安装孔中的状态中;
运输单元,在所述固持单元使所述导电球维持在安装于所述掩模的所述安装孔中的所述状态中时,通过运输所述掩模、所述支撑板以及涂布有焊剂的基底中的至少一个而将所述基底放置在所述掩模下方;以及
控制器,控制所述安装单元、所述固持单元以及所述运输单元的操作。
2.根据权利要求1所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述固持单元包括静电卡盘,所述静电卡盘经由静电力来夹持安装在所述安装孔中的所述导电球,以及
当所述基底放置在所述掩模下方时,所述控制器停止对所述固持单元的所述静电卡盘的操作,以使得安装在所述安装孔中的所述导电球掉落到所述基底上。
3.根据权利要求1所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述固持单元包括第二吸附构件,所述第二吸附构件由多孔材料形成且利用真空吸附来夹持安装在所述安装孔中的所述导电球,以及
当所述基底放置在所述掩模下方时,所述控制器停止对所述固持单元的所述第二吸附构件的操作,以使得安装在所述安装孔中的所述导电球掉落到所述基底上。
4.根据权利要求1所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述支撑板包括第一吸附构件,所述第一吸附构件由多孔材料形成且在所述第一吸附构件与所述掩模的所述下部表面接触时,吸附安装在所述安装孔中的所述导电球,以及
在所述固持单元操作为与所述掩模的所述上部表面接触时或在此之前,所述控制器停止对所述第一吸附构件的操作。
5.根据权利要求4所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述支撑板的所述第一吸附构件由透明材料形成。
6.根据权利要求5所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述支撑板包含发光部分,所述发光部分接触所述掩模的所述下部表面以将光传输到所述掩模的所述安装孔。
7.根据权利要求6所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,还包括检测照相机,所述检测照相机从所述掩模上方捕获所述掩模的图像以检测安装在所述掩模的所述安装孔中的所述导电球的安装状态,
其中所述控制器通过使用所述检测照相机所捕获到的所述图像来检测安装在所述掩模的所述安装孔中的所述导电球的安装状态。
8.根据权利要求1所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述固持单元操作为使得安装在所述安装孔中的所述导电球与所述固持单元接触,
其中所述用于安装导电球的设备还包括分离单元,当所述控制器停止对所述固持单元的操作时,所述分离单元使所述导电球与所述固持单元分离以使得所述导电球掉落到所述基底上。
9.根据权利要求8所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述分离单元通过在所述掩模与所述固持单元之间喷射压缩空气而使所述导电球与所述固持单元分离。
10.根据权利要求8所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述分离单元通过使所述掩模与所述固持单元相对于彼此在水平方向上移动而使所述导电球与所述固持单元分离。
11.根据权利要求1所述的用于安装导电球的设备,其特征在于,所述运输单元包括相对于所述掩模来运输所述支撑板的支撑板运输单元、相对于所述掩模来运输所述基底的基底运输单元以及相对于所述掩模来运输所述固持单元的固持单元运输单元。
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