[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法在审
| 申请号： | 201910164295.9 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN109853036A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 陈玉伟;唐惠东;陈小卉;李龙珠;杨蓉;徐立波 | 申请（专利权）人： | 常州工程职业技术学院 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 朱晓凯 |
| 地址： | 213164 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 黑硅 贵金属 多晶硅片 湿法蚀刻 线切割 制绒 晶体硅太阳能电池 经济效应 反射率 新路径 离子 | ||
1.一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于，具体包括以下步骤：
(1)将金刚线切割多晶硅片置于含H2O2和乙醇的水溶液中进行预清洗；
(2)将硅片置入含2～8wt％HF的水溶液中，静置5～10min，将硅片表面的SiO2溶解，溶液温度为15～50℃；
(3)配制含Fe2+、H2O2和HF的水溶液；
(4)将经步骤1处理后的硅片置入步骤3配制的溶液中，在多晶硅片表面得到纳米级黑硅绒面；
(5)将经步骤4处理后的多晶硅片置于盐酸溶液中，去除硅片表面Fe2+离子；
(6)用去离子水清洗硅片，再将硅片吹干。
2.如权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于，所述步骤1中H2O2浓度为2～10wt％，乙醇浓度为5～10wt％，水溶液温度为40～70℃，清洗时间为1～5min。
3.如权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于，步骤3配制的溶液中，Fe2+、H2O2和HF的浓度分别为0.05～1mol/L、1～3mol/L和2～8mol/L。
4.如权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于，步骤4中反应溶液温度为20～50℃，反应时间1～5min。
5.如权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于，步骤5中盐酸的浓度为2～5mol/L，溶液温度为20～40℃。
6.如权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于，步骤3配制的溶液中，Fe2+的来源包括硫酸亚铁、氯化亚铁、醋酸亚铁、碳酸亚铁、硝酸亚铁、亚铁氰化钾和硫化亚铁。
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