[发明专利]柔性太阳能电池及其制作方法在审
申请号: | 201910132351.0 | 申请日: | 2019-02-22 |
公开(公告)号: | CN111613693A | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 龙军华;陆书龙;黄欣萍;李雪飞;代盼 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 太阳能电池 及其 制作方法 | ||
1.一种柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在第一刚性衬底上制作倒置的太阳能电池单元;
在所述太阳能电池单元的背面上制作叠层设置的背面电极和柔性衬底;
将所述柔性衬底贴附于涂覆粘贴剂的第二刚性衬底上并通过烘烤固化所述粘贴剂,以将所述柔性衬底粘贴至第二刚性衬底上;
将所述第一刚性衬底从所述太阳能电池单元上分离;
在所述太阳能电池单元的正面上制作正面电极;
剥离所述第二刚性衬底。
2.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,在第一刚性衬底上制作倒置的太阳能电池单元的方法包括:
在第一刚性衬底上制作腐蚀阻挡层;
在所述腐蚀阻挡层上制作倒置的太阳能电池单元。
3.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,在所述太阳能电池单元的背面上制作叠层设置的背面电极和柔性衬底的方法包括:
在所述太阳能电池单元的背面上电镀背面种子层;
在所述背面种子层上电镀背面电极;
在所述背面电极上电镀金属薄膜以形成柔性衬底。
4.根据权利要求3所述的柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,所述金属薄膜为铜薄膜,所述第二刚性衬底为硼硅玻璃。
5.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,所述粘贴剂为可剥离的硅胶,所述可剥离的硅胶对所述第二刚性衬底的粘附强度大于对所述柔性衬底的粘附强度。
6.根据权利要求2所述的柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,将所述第一刚性衬底从所述太阳能电池单元上分离的方法包括:利用湿法剥离工艺腐蚀去除所述腐蚀阻挡层上的第一刚性衬底;
利用湿法剥离工艺腐蚀去除所述腐蚀阻挡层上的第一刚性衬底后,所述柔性太阳能电池的制作方法还包括:利用湿法剥离工艺腐蚀去除所述太阳能电池单元上的腐蚀阻挡层。
7.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,在所述太阳能电池单元的正面上制作正面电极的方法包括:
在所述太阳能电池单元的正面上电镀正面种子层;
在所述正面种子层上电镀正面电极。
8.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,在所述太阳能电池单元的正面上制作正面电极后,所述柔性太阳能电池的制作方法还包括:在所述太阳能电池单元的正面电极及所述太阳能电池单元的正面未被所述正面电极覆盖的区域上制作减反射层。
9.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池的制作方法,其特征在于,所述太阳能电池单元为多结太阳能电池。
10.一种柔性太阳能电池,其特征在于,所述柔性太阳能电池由权利要求1至9任一项所述的柔性太阳能电池的制作方法制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的