[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置

说明书

本发明涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置。所述阵列基板包括：基板；位于所述基板上的第一导电层；位于所述基板上的与所述第一导电层同层且间隔设置的粘结辅助层；以及位于所述粘结辅助层上的第二导电层。所述粘结辅助层的侧表面与所述第二导电层的侧表面连续。

技术领域

本发明的实施例涉及显示技术领域，更特别地，涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置。

背景技术

目前，薄膜晶体管液晶显示器在向高尺寸和高分辨率的趋势发展。由于铜(Cu)的电阻较低，其逐步应用在高尺寸和高分辨率的产品中，以例如用作薄膜晶体管的栅极。

发明内容

本发明的实施例提供了一种阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置，能够降低成本、减少数据线-栅线短路(Data-Gate Short，DGS)不良以及避免栅线-栅线短路(Gate-Gate Short，GGS)不良，从而提高产品良率。

根据本发明的一方面，提供了一种阵列基板。所述阵列基板包括：基板；位于所述基板上的第一导电层；位于所述基板上的与所述第一导电层同层且间隔设置的粘结辅助层；以及位于所述粘结辅助层上的第二导电层。所述粘结辅助层的侧表面与所述第二导电层的侧表面连续。

根据本发明的实施例，所述第一导电层为公共电极层。所述第二导电层为栅极电极层。

根据本发明的实施例，所述基板的材料包括玻璃。所述栅极电极层的材料包括铜。所述粘结辅助层的材料包括透明导电氧化物。

根据本发明的实施例，所述透明导电氧化物包括氧化铟锡、铟锌氧化物或掺氟的氧化锡。

根据本发明的一方面，提供了一种包括如上所述的阵列基板的显示面板。

根据本发明的一方面，提供了一种包括如上所述的显示面板的显示装置。

根据本发明的一方面，提供了一种制备阵列基板的方法。所述方法包括：提供基板；在所述基板上形成第一导电层和粘结辅助层，其中所述粘结辅助层与所述第一导电层同层且间隔设置；以及在所述粘结辅助层上形成第二导电层。所述粘结辅助层的侧表面与所述第二导电层的侧表面连续。

根据本发明的实施例，在所述粘结辅助层上形成所述第二导电层包括：形成第二导电材料层以覆盖所述基板、所述第一导电层和所述粘结辅助层；在所述第二导电材料层上形成掩蔽材料；图案化所述掩蔽材料以形成掩蔽层，其中所述粘结辅助层在所述基板上的正投影位于所述掩蔽层在所述基板上的正投影内且所述掩蔽层在所述基板上的正投影不覆盖所述第一导电层在所述基板上的正投影；湿法蚀刻所述第二导电材料层直到所述第一导电层与所述粘结辅助层之间的所述第二导电材料层被去除；以及去除所述掩蔽层。

在本发明的实施例中，所述掩蔽层的沿平行于所述基板的第一方向从所述粘结辅助层的侧表面突出的部分的沿所述第一方向的尺寸与所述粘结辅助层的沿垂直于所述基板上的第二方向上的尺寸成正比例。

在本发明的实施例中，所述比例被配置为，当所述第一导电层与所述粘结辅助层之间的所述第二导电材料层被去除时，所述第二导电材料层的剩余部分的侧表面与所述粘结辅助层的侧表面是连续的。

根据本发明的实施例，在所述基板上形成所述第一导电层和所述粘结辅助层包括：在所述基板上形成第一导电材料层，所述第一导电材料层包括能够改善所述第二导电层与所述基板之间的粘附性的材料；以及图案化所述第一导电材料层以在所述基板上形成所述第一导电层和所述粘结辅助层。

根据本发明的实施例，图案化所述第一导电材料层的方法包括湿法蚀刻。

根据本发明的实施例，形成所述第二导电材料层的方法包括溅射法。

根据本发明的实施例，形成所述第一导电材料层的方法包括溅射法。