[发明专利]一种光亮铜膜或铜合金膜减反射工艺有效
| 申请号： | 201910098104.3 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109554700B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 李晓红;明东远;章晓冬;黄叔房;刘江波 | 申请（专利权）人： | 广东天承科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C22/73 | 分类号： | C23C22/73;C23C22/78 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 510990 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光亮 铜合金 反射 工艺 | ||
1.一种光亮铜膜或铜合金膜减反射工艺，其特征在于，所述工艺为：对光亮的铜膜或铜合金膜进行黑氧化处理，黑氧化处理的温度为40-60℃，时间为0.5-5min，处理结束后烘干，降低了铜膜或铜合金膜的反射率；所述光亮的铜膜或铜合金膜的厚度为0.1-1μm，在380-780nm波长内的反射率＞30％；
所述光亮的铜膜或铜合金膜通过喷镀、蒸镀或者真空溅射方式形成；
所述黑氧化处理后对铜膜或铜合金膜进行缓蚀处理，所述缓蚀处理的操作为：在20-50℃下，利用缓蚀药水对铜膜或铜合金膜进行缓蚀处理0.1-5min，然后水洗；
所述减反射工艺用于铜膜或铜合金膜制成的线路；
所述黑氧化处理后的铜膜或铜合金膜在380-780nm波长范围内的平均反射率降低至15％以下。
2.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述黑氧化处理使用的药水中含有亚氯酸盐、氯酸盐、亚溴酸盐或溴酸盐中的至少一种。
3.如权利要求1或2所述的工艺，其特征在于，所述黑氧化处理的方式为浸泡或喷淋。
4.如权利要求1或2所述的工艺，其特征在于，所述黑氧化处理前对铜膜或铜合金膜进行前处理，所述前处理的操作为：在20-80℃下，利用碱性或酸性溶液对铜膜或铜合金膜处理0.1-5min，然后水洗。
5.如权利要求1或2所述的工艺，其特征在于，所述烘干的温度为80-200℃。
6.如权利要求1或2所述的工艺，其特征在于，所述烘干的时间为2s-30min。
7.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述工艺包括以下步骤：
(1)前处理：在20-80℃下，利用碱性或酸性溶液对铜膜或铜合金膜处理0.1-5min，然后水洗，所述铜膜或铜合金膜的厚度为0.1-1μm，在380-780nm波长内的反射率＞30％；
(2)黑氧化处理：在40-60℃下，采用浸泡或喷淋的方式将步骤(1)前处理后的铜膜或铜合金膜在药水中黑氧化处理0.5-5min，然后水洗；
(3)缓蚀处理：在20-50℃下，利用缓蚀药水对步骤(2)黑氧化处理后的铜膜或铜合金膜进行缓蚀处理0.1-5min，然后水洗；
(4)烘干处理：在80-200℃下对步骤(3)缓蚀处理后的铜膜或铜合金膜烘干2s-30min。
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C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
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C23C22-70 .使用熔体
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