[发明专利]与批式炉偕同使用的用于储存晶圆匣的储存装置

说明书

揭露了一种储存装置，其与用于批处理支承于晶舟中的晶圆的至少一个批式炉偕同使用。该储存装置包含贮匣旋转料架，用于储存多个晶圆匣于可旋转平台层上。旋转料架壳体限定出容纳该平台层于其中的迷你环境腔室。该储存装置的气体再循环回路随后包含气体入口通道、气体入口过滤器、该迷你环境腔室、在该旋转料架壳体的底壁中的多个气体出口开孔、限定充气部腔室的充气部壳体、充气部腔室出口、使该充气部腔室出口连接至该气体入口导管的入口端的气体循环泵。

技术领域

本发明有关于一种储存装置，其与用于批处理支承于晶舟中的一批晶圆的炉偕同使用。

背景技术

美国专利第US-5 407 449号揭露一种批式炉，其具有包含用于储存各自容纳多个晶圆W的多个晶圆匣C的贮匣旋转料架(cassette storage carousel，参考图1及图2)的储存装置。该储存装置也可包含晶圆转移机器人14用于转移个别晶圆W于存入贮匣旋转料架的匣C与容纳于批式炉站13(参考图1)中的晶舟B之间。

贮匣旋转料架12可包含旋转料架壳体16，其具有构造为可转移匣C进出贮匣旋转料架12的至少一个匣转移开孔18。旋转料架壳体16也有至少一个晶圆转移开孔20，经由它可转移晶圆W进出存入旋转料架壳体16的匣C。

旋转料架壳体16中容纳许多平台层(platform stage)22，它们连接至经安装成可绕着垂直轴线旋转的中央支撑物。各平台层22构造为可容纳许多匣C。贮匣旋转料架12包括驱动组件，其操作性地连接至该中央支撑物用于使该中央支撑物与该平台层22一起旋转。旋转料架壳体16限定容纳平台层22于其中的迷你环境腔室24。

发明内容

本发明的一目标是要提供属于上述类型的储存装置，其强健、有低流动阻力且易于制造。

为此，本发明提供一种如权利要求1所述的储存装置。该储存装置包含贮匣旋转料架，其用于储存经构造及配置成可容纳多个晶圆的多个晶圆匣。该贮匣旋转料架包含：

旋转料架壳体，其具有构造为可转移匣或晶圆进出该贮匣旋转料架的至少一个开孔；

至少一个平台层，其用于容纳晶圆匣，该至少一个平台层连接至中央支撑物，该中央支撑物经安装成在该旋转料架壳体内可绕着垂直轴线旋转；

驱动组件，其操作性地连接至该中央支撑物用于使该中央支撑物与该至少一个平台层一起旋转；

迷你环境腔室，其以该旋转料架壳体为界且容纳该平台层于其中；与

气体再循环回路。

该气体再循环回路，其随后包含：

气体入口通道，其在垂直方向延伸且以该中央支撑物为界，该中央支撑物体现为可绕着该垂直轴线旋转的中央气体入口导管，其中，该气体入口导管有多个气体入口开孔，它们提供在该气体入口通道与该迷你环境腔室之间的流体连接且分布于该气体入口导管的高度及周围上，藉此，在使用时，提供气体至该迷你环境腔室中的径向向外定向流入；

该迷你环境腔室；

多个气体出口开孔，其设于该旋转料架壳体的底壁，而限定充气部腔室的充气部壳体在该底壁下方延伸，因此该多个气体出口开孔提供在该迷你环境腔室与该充气部腔室之间的流体连接；

充气部腔室出口；与

气体循环泵，其具有气体循环泵入口及气体循环泵出口，该气体循环泵入口经由泵入口导管连接至该充气部腔室出口，且该气体循环泵出口经由泵出口导管连接至该可旋转的气体入口导管的入口端。