[发明专利]与批式炉偕同使用的用于储存晶圆匣的储存装置

权利要求书

1.一种用于储存晶圆匣(C)的储存装置，该储存装置(10)包含：

贮匣旋转料架(12)，其用于储存经构造及配置成可容纳多个晶圆(W)的多个晶圆匣(C)；

其中，该贮匣旋转料架(12)包含：

旋转料架壳体(16)，其具有构造为可转移匣或晶圆进出该贮匣旋转料架的至少一个开孔(18，20)；

至少一个平台层(22)，其用于容纳晶圆匣(C)，该至少一个平台层连接至中央支撑物，该中央支撑物经安装成在该旋转料架壳体(16)内可绕着垂直轴线旋转；

驱动组件，其操作性地连接至该中央支撑物，用于使该中央支撑物与该至少一个平台层(22)一起旋转；

迷你环境腔室(24)，其以该旋转料架壳体(16)为界且容纳该平台层(22)于其中；

气体再循环回路，其随后包含：

气体入口通道(26)，其在垂直方向延伸且以该中央支撑物为界，该中央支撑物体现为可绕着该垂直轴线(L)旋转的中央气体入口导管(28)，其中，该气体入口导管(28)有多个气体入口开孔(30)，该多个气体入口开孔提供在该气体入口通道(26)与该迷你环境腔室(24)之间的流体连接且分布于该气体入口导管(28)的高度及周围上，藉此，在使用时，提供气体至该迷你环境腔室(24)中的径向向外定向流入；

该迷你环境腔室(24)；

多个气体出口开孔(34)，其设于该旋转料架壳体(16)的底壁(36)，而限定充气部腔室(40)的充气部壳体(38)在该底壁(36)下方延伸，因此该多个气体出口开孔(34)提供在该迷你环境腔室(34)与该充气部腔室(40)之间的流体连接；

充气部腔室出口(42)；

气体循环泵(44)，其具有气体循环泵入口(46)及气体循环泵出口(50)，该气体循环泵入口经由泵入口导管(48)连接至该充气部腔室出口(42)，且该气体循环泵出口经由泵出口导管(52)连接至该可旋转的气体入口导管(28)的入口端(28a)。

2.如权利要求1所述的储存装置，其中，该充气部腔室(40)在该底壁(36)下方延伸有该底壁(36)的表面积的至少60％。

3.如前述权利要求中的任一项所述的储存装置(10)，其中，该充气部壳体(38)具有甜甜圈形状且有形成充气部壳体凹部(38a)的中断部，其中，位于该充气部壳体凹部(38a)附近的气体出口开孔(34)大于离该充气部壳体凹部(38a)较远的气体出口开孔(34)。

4.如前述权利要求中的任一项所述的储存装置(10)，其还包含：

底座(54)；与

体现为标准滚珠轴承(56)的旋转料架轴承，其具有固定地连接至该入口导管(28)的该入口端(28a)的内座圈(58)，且有固定地连接至该底座(54)的外座圈(60)。

5.如权利要求4所述的储存装置，其中，该旋转料架壳体(16)及该充气部壳体(38)连接至该底座(54)。

6.如前述权利要求中的任一项所述的储存装置，其包含：

第一气封(62)，其呈基本环形且提供在该旋转的气体入口导管(28)的该入口端(28a)与该旋转料架壳体(16)的该底壁(36)之间的基本气密连接。

7.如前述权利要求中的任一项所述的储存装置，其包含：

第二气封(64)，其呈基本环形且提供在该旋转的气体入口导管(28)的该入口端(28a)与该泵出口导管(52)的出口端(52a)之间的基本气密连接。

8.如权利要求7所述的储存装置，当从属于权利要求6时，其中，该第一及该第二气封(62，64)为该储存装置中仅有的两个气封，用于在该贮匣旋转料架(12)的旋转部件与该贮匣旋转料架(12)的非旋转部件之间建立气密连接。