[发明专利]基板收纳容器以及其制造方法有效
申请号: | 201880050977.0 | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN110998823B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 户田顺也;三村博;渡边直人 | 申请(专利权)人: | 信越聚合物股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王玮;张丰桥 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 收纳 容器 及其 制造 方法 | ||
1.一种基板收纳容器,其特征在于具备:
容器主体,其收纳基板;以及
盖体,其封闭所述容器主体的开口;以及
功能部件,其相对于所述容器主体或者所述盖体通过嵌件成形而一体化;
其中,所述功能部件包括:安装部,其具有以与所述容器主体或者所述盖体的壁部件的壁厚相等的壁厚所形成的厚壁部、以及薄壁部,其壁厚随着从所述厚壁部朝向外缘而变薄;以及主体部,其与所述安装部连结;并且,以所述厚壁部的一面与所述壁部件的内表面成为同一平面,并成为一个连续的面的方式配置于所述容器主体或者所述盖体上。
2.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,
其中,所述薄壁部为具有倾斜面的锐角形状,所述倾斜面以壁厚随着朝向外缘而变薄的方式倾斜。
3.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,
其中,所述薄壁部为薄壁形状,所述薄壁形状具有以壁厚随着朝向外缘而变薄的方式,相对于与壁厚方向正交的方向倾斜20°以上的倾斜面,和壁厚方向上的顶面。
4.如权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,
其中,所述薄壁部为以壁厚随着朝向外缘而变薄的方式,朝向与壁厚方向正交的方向突出的凸部。
5.如权利要求1至4的任意一项所述的基板收纳容器,其特征在于,
其中,所述薄壁部经由所述厚壁部的外缘的壁厚方向的台阶面,设置在所述厚壁部的外缘。
6.如权利要求5所述的基板收纳容器,其特征在于,
其中,所述薄壁部在与壁厚方向正交的方向上从所述台阶面到顶端的突出量为2.00mm以下。
7.如权利要求1至4的任意一项所述的基板收纳容器,其特征在于,
其中,所述功能部件由摩擦系数与形成所述容器主体或者所述盖体的材料不同的材料所形成。
8.如权利要求1至4的任意一项所述的基板收纳容器,其特征在于,
其中,在以所述开口作为正面的情况时,所述功能部件为形成在所述容器主体的外侧,并被定位到加工装置或者搬送装置的定位构件的装置定位单元。
9.如权利要求8所述的基板收纳容器,其特征在于,
其中,所述装置定位单元为,位于所述容器主体或者所述盖体的一侧成为所述安装部的块状,在另一侧形成有供所述定位构件进行定位的定位槽,
在所述一侧与所述另一侧之间的周面上形成有两个以上的肋部。
10.一种基板收纳容器的制造方法,其特征在于所述基板收纳容器具备:
容器主体,其收纳基板;以及盖体,其封闭所述容器主体的开口;以及功能部件,其相对于所述容器主体或者所述盖体通过嵌件成形而一体化;
其中,所述功能部件包括:安装部,其具有以与所述容器主体或者所述盖体的壁部件的壁厚相等的壁厚所形成的厚壁部、以及薄壁部,其壁厚随着从所述厚壁部朝向外缘而变薄;以及主体部,其与所述安装部连结;
其中,将所述功能部件以所述安装部的一面与所述容器主体或者所述盖体的内表面成为同一平面,并成为一个连续的面的方式嵌件成形于所述容器主体或者所述盖体。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造