[发明专利]具有内在去耦电容器的单元架构有效
| 申请号: | 201880049605.6 | 申请日: | 2018-07-09 |
| 公开(公告)号: | CN110945655B | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
| 发明(设计)人: | H·钦塔拉帕里·雷迪;J·霍兰;S·穆罕默德 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/522;H01L27/118 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;郭星 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 内在 电容器 单元 架构 | ||
1.一种集成电路IC,所述IC至少包括第一IC部分和在所述第一IC部分的第一侧上的第二IC部分,所述IC包括:
在所述第一IC部分中的单元阵列,所述单元阵列包括:第一组金属Mx层功率互连,所述第一组Mx层功率互连被耦合到第一电压源,并且在第一方向上跨所述单元阵列、邻近于pMOS有源区域延伸;第一组Mx层互连,在所述第一方向上跨所述单元阵列、邻近于所述pMOS有源区域延伸;第二组Mx层功率互连,被耦合到小于所述第一电压源的第二电压源,并且在所述第一方向上跨所述单元阵列、邻近于nMOS有源区域延伸;以及第二组Mx层互连,在所述第一方向上跨所述单元阵列、邻近于所述nMOS有源区域延伸;以及
在所述第二IC部分中的第一组端帽单元,其中所述第一组Mx层功率互连、所述第一组Mx层互连、所述第二组Mx层功率互连、以及所述第二组Mx层互连跨所述第一组端帽单元进一步延伸,所述第一组端帽单元包括:
第一组金属Mx+1层互连,在与所述第一方向正交的第二方向上延伸,所述第一组Mx+1层互连被耦合到所述第一组Mx层功率互连和所述第二组Mx层互连,以在所述第二组Mx层互连处提供所述第一电压源;以及
第二组Mx+1层互连,在所述第二方向上延伸,所述第二组Mx+1层互连被耦合到所述第二组Mx层功率互连和所述第一组Mx层互连,以在所述第一组Mx层互连处提供所述第二电压源,
其中所述第一组Mx层功率互连和所述第一组Mx层互连用作第一组去耦电容器,并且所述第二组Mx层功率互连和所述第二组Mx层互连用作第二组去耦电容器。
2.根据权利要求1所述的IC,其中所述第一组Mx层功率互连和所述第一组Mx层互连在所述第二方向上交错,并且所述第二组Mx层功率互连和所述第二组Mx层互连在所述第二方向上交错。
3.根据权利要求2所述的IC,其中所述第一组Mx层功率互连包括S1p个Mx层功率互连,所述第一组Mx层互连包括S1个Mx层互连,所述第二组Mx层功率互连包括S2p个Mx层功率互连,并且所述第二组Mx层互连包括S2个Mx层互连,其中|S1p-S1|≤1且|S2p-S2|≤1,并且其中所述第一组Mx层功率互连和所述第一组Mx层互连形成S1p+S1-1个去耦电容器,并且所述第二组Mx层功率互连和所述第二组Mx层互连形成S2p+S2-1个去耦电容器。
4.根据权利要求1所述的IC,其中所述第一组Mx+1层互连和所述第二组Mx+1层互连在所述第一方向上交错。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





