[发明专利]检查系统和检查系统中的温度测定方法

权利要求书

1.一种检查系统，其特征在于，具备：

检查装置，其具有用于载置基板的载置台，该检查装置用于对所述载置台上的基板进行检查；

调温机构，其用于对所述载置台进行调温；

基板收容部，其用于收容基板；

温度测定基板等待部，其使用于载置于所述载置台上来测定温度的温度测定基板等待；

搬送装置，其用于将所述基板收容部中收容的基板和在所述温度测定基板等待部等待的温度测定基板搬送至所述载置台上；以及

照相机，其用于所述载置台上的基板的对准，

其中，所述温度测定基板在表面具有状态根据温度而变化的温度测定构件，

由所述搬送装置将所述温度测定基板从所述温度测定基板等待部搬送至所述载置台，并由所述照相机拍摄所述温度测定构件，根据温度测定构件的状态变化来测定所述温度测定基板的温度。

2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，

具有多个所述检查装置，

所述搬送装置将所述基板和所述温度测定基板搬送至各检查装置的载置台。

3.根据权利要求1或2所述的检查系统，其特征在于，

所述温度测定基板具有与所述基板同样的形状。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的检查系统，其特征在于，

所述温度测定基板是在基材上形成所述温度测定构件而成的。

5.根据权利要求4所述的检查系统，其特征在于，

所述基材的材质和厚度被调整为使所述温度测定基板的热容量接近所述基板的热容量。

6.根据权利要求5所述的检查系统，其特征在于，

所述基材的材质与所述基板的材质相同。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的检查系统，其特征在于，

所述照相机拍摄所述温度测定构件的测温部。

8.根据权利要求7所述的检查系统，其特征在于，

在所述温度测定构件存在多个所述测温部，通过由所述照相机拍摄多个所述测温部来测定所述温度测定基板的温度分布。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的检查系统，其特征在于，

所述温度测定构件的颜色根据温度而变化。

10.根据权利要求1至8中的任一项所述的检查系统，其特征在于，

所述温度测定构件使用当达到某温度时颜色可逆地变化的示温材料。

11.根据权利要求1至8中的任一项所述的检查系统，其特征在于，

所述温度测定构件是将被以规定图案施加了在规定的温度下发生反应而发色的发色物质的透明片以使所述发色物质的位置和反应温度不同的方式层叠多个而得到的，利用所述照相机通过图案匹配来识别由温度的差异引起的图案的位置或数量的差异，由此获取温度数据。

12.根据权利要求1至8中的任一项所述的检查系统，其特征在于，

所述温度测定构件是将被以规定图案施加了在规定的温度下发生反应而发色的发色物质的透明片以使所述发色物质的位置不同的方式层叠多个而得到的，分别施加于多个所述透明片的发色物质为相同的物质，利用所述照相机通过图案匹配来识别基于多个所述透明片的位置的、由温度的差异引起的图案的位置或数量的差异，由此获取温度数据。