[发明专利]气液反应装置、反应管及成膜装置

权利要求书

1.一种气液反应装置，其特征在于，包括：

气液反应室，在内部空间的下部收纳熔融金属，使供给到所述内部空间的长度方向的一端侧的上部的包含载气和原料气体的混合气体A在所述长度方向上流动，所述载气为氮气及氩气中的至少一种，同时通过所述原料气体和所述熔融金属的气液反应使生成气体生成，并将包含所述生成气体和所述载气的混合气体B从所述长度方向的另一端侧的上部排出；以及

突出部件，从与所述气液反应室的所述内部空间接触的顶面向所述内部空间内突出，所述长度方向的一端侧的突出角度为钝角，并且具有使气体在所述长度方向上通过的狭缝。

2.根据权利要求1所述的气液反应装置，其特征在于，

所述突出角度为110°～160°。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的气液反应装置，其特征在于，

所述突出部件包括从所述顶面向所述内部空间内突出的板状部件。

4.根据权利要求3所述的气液反应装置，其特征在于，

所述板状部件包括：相对于从所述顶面向所述内部空间内突出的方向，向所述长度方向的一端侧弯曲的弯曲部。

5.根据权利要求4所述的气液反应装置，其特征在于，

所述板状部件包括：从所述顶面向所述内部空间内突出的突出部和所述弯曲部；

所述顶面中从所述板状部件观察的所述长度方向的一端侧的区域或者将所述顶面向所述长度方向的一端侧延长得到的假想面与所述弯曲部的所述长度方向的一端侧的面所成的角度为70°～110°。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的气液反应装置，其特征在于，

所述内部空间的宽度方向上的所述狭缝的长度相对于所述内部空间的宽度方向长度为2％～50％。

7.根据权利要求1或权利要求2所述的气液反应装置，其特征在于，

所述狭缝是从所述突出部件的前端侧朝向所述突出部件的根部侧切入的切口。

8.根据权利要求7所述的气液反应装置，其特征在于，

所述狭缝的长度方向是从所述突出部件的前端侧朝向所述突出部件的根部侧的方向。

9.根据权利要求1或权利要求2所述的气液反应装置，其特征在于，

包括多个所述突出部件，所述多个所述突出部件排列在所述内部空间的长度方向上；

所述多个所述突出部件中相邻的两个所述突出部件中的所述狭缝配置在从所述内部空间的长度方向的一端侧观察时相互不重叠的位置上。

10.根据权利要求1或权利要求2所述的气液反应装置，其特征在于，

所述熔融金属是镓；

所述原料气体是氯气和氯化氢气体中的至少一种；

所述生成气体为一氯化镓气体。

11.一种反应管，其特征在于，在管内包括权利要求1或权利要求2所述的气液反应装置。

12.根据权利要求11所述的反应管，其特征在于，

所述熔融金属是镓；

所述原料气体是第一氯气；

所述生成气体是一氯化镓气体；

通过所述一氯化镓气体与第二氯气的反应而生成三氯化镓气体。

13.一种成膜装置，其特征在于，包括权利要求11所述的反应管。

14.一种成膜装置，其特征在于，包括权利要求12所述的反应管，并且通过由所述反应管生成的所述三氯化镓气体与氨气的反应形成氮化镓膜。