[实用新型]一种晶舟转盘

说明书

本实用新型公开了晶圆上、下料领域内的一种晶舟转盘，包括固定底盘，固定底盘中部设有支撑柱，支撑柱上端转动连接有转动盘，固定底盘上侧左右对称设置有1对球头柱塞，球头柱塞竖直设置，转动盘下表面支撑在两球头柱塞的球头上，所述转动盘的下表面周向均布有4个定位孔，所述球头与定位孔对应设置，所述转动盘的上表面左右对称开设有2个定位槽，定位槽呈条状，2个定位槽的轴线互相平行，所述转动盘上放置有晶舟，晶舟底部左右对称设有2个条状底垫，所述底垫卡入对应定位槽内。本实用新型通过转盘导向可以有效地降低石英晶舟的底部磨损，提高作业效率及产品合格率，节约公司成本。

技术领域

本实用新型属于晶圆上、下料领域，特别涉及一种晶舟转盘。

背景技术

现有技术中，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶舟采用石英制成，是用来盛放晶圆的治具，晶舟内可以容纳多个晶圆。现有技术中，车间操作人员采用手动旋转石英晶舟，然后在晶舟的前后两侧上、下挡片，挡片可以保护晶圆；其不足之处在于：其一，石英晶舟底部会有磨损，且会产生颗粒，造成晶圆产品污染；其二，作业繁琐，操作人员在石英晶舟的正面加完第一片挡片后，需要再将晶舟旋转180°至晶舟背面加第二片挡片。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶舟转盘，通过转盘导向可以有效地降低石英晶舟的底部磨损，提高作业效率及产品合格率，节约公司成本。

本实用新型的目的是这样实现的：一种晶舟转盘，包括固定底盘，固定底盘中部设有支撑柱，支撑柱上端转动连接有转动盘，固定底盘上侧左右对称设置有1对球头柱塞，球头柱塞竖直设置，转动盘下表面支撑在两球头柱塞的球头上，所述转动盘的下表面周向均布有4个定位孔，所述球头与定位孔对应设置，所述转动盘的上表面左右对称开设有2个定位槽，定位槽呈条状，2个定位槽的轴线互相平行，所述转动盘上放置有晶舟，晶舟底部左右对称设有2个条状底垫，所述底垫卡入对应定位槽内。

本实用新型工作时，将装有晶圆的晶舟底垫对应卡入转动盘的定位槽内，在晶舟的正面上料挡片，然后将转动盘旋转至晶舟的背面，由于转动盘的下表面均匀分布有4个定位孔，转动盘转过180°后球头与第3个定位孔对应起来，转动盘正好定位，在晶舟的背面继续上料挡片；然后再旋转转动盘90°，至可以方便上料的位置。下料时，先将一面的挡片进行下料，再旋转转动盘180°至另一面挡片，进行下料，最后旋转转动盘至晶舟的正面进行晶圆的下料。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过转盘导向可以有效地降低石英晶舟的底部磨损，提高作业效率及产品合格率，节约公司成本。

作为本实用新型的进一步改进，所述转动盘的边缘设置有2个左右对称的弧形把手。把手便于操作人员旋转转动盘。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定底盘上位于支撑柱的外周开设有若干贯穿孔。贯穿孔可以增大摩擦力，防止旋转转动盘时固定底盘移动。

作为本实用新型的进一步改进，所述转动盘通过平面轴承与支撑柱转动连接。平面轴承承受转动盘的轴向力。

为了更好地固定晶圆，所述晶舟在水平方向的截面积从上到下递减。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定底盘和转动盘均采用POM板制成。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为装载有晶圆的晶舟的俯视图。

图3为转动盘的俯视图。

图4为转动盘的仰视图。

图5为固定底盘的仰视图。

其中，1固定底盘，2支撑柱，3平面轴承，4转动盘，5球头柱塞，5a球头，6定位孔，7定位槽，8晶舟，8a底垫，9把手，10贯穿孔，11晶圆。