[实用新型]一种晶舟转盘有效
| 申请号： | 201822048068.3 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209104127U | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 吴海波;张鹏;崔福娣 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/68 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 转动盘 定位槽 固定底盘 球头柱塞 晶舟 本实用新型 左右对称 定位孔 下表面 支撑柱 底垫 种晶 转盘 左右对称设置 产品合格率 公司成本 互相平行 竖直设置 周向均布 转动连接 转盘导向 作业效率 上端 上表面 有效地 石英 晶圆 卡入 球头 下料 磨损 节约 支撑 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶舟转盘，其特征在于，包括固定底盘，固定底盘中部设有支撑柱，支撑柱上端转动连接有转动盘，固定底盘上侧左右对称设置有1对球头柱塞，球头柱塞竖直设置，转动盘下表面支撑在两球头柱塞的球头上，所述转动盘的下表面周向均布有4个定位孔，所述球头与定位孔对应设置，所述转动盘的上表面左右对称开设有2个定位槽，定位槽呈条状，2个定位槽的轴线互相平行，所述转动盘上放置有晶舟，晶舟底部左右对称设有2个条状底垫，所述底垫卡入对应定位槽内。
2.根据权利要求1所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述转动盘的边缘设置有2个左右对称的弧形把手。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述固定底盘上位于支撑柱的外周开设有若干贯穿孔。
4.根据权利要求1或2所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述转动盘通过平面轴承与支撑柱转动连接。
5.根据权利要求1或2所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述晶舟在水平方向的截面积从上到下递减。
6.根据权利要求1或2所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述固定底盘和转动盘均采用POM板制成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
