[实用新型]一种蒸镀腔及镀膜机

说明书

本实用新型提供了一种蒸镀腔及镀膜机，所述蒸镀腔具备蒸镀腔本体，所述蒸镀腔本体包括底板以及与所述底板连接的左侧壁和右侧壁；所述左侧壁上设有至少一个左蒸发源，所述右侧壁上设有至少一个右蒸发源，所述左侧壁和所述右侧壁相对倾斜设置。在上述技术方案中，通过在侧壁上设置第一蒸发源，提高了蒸镀时的均匀性，进而提高蒸镀的效果。进而提高太阳能发电板的发电率以及成品率。

技术领域

本实用新型涉及到太阳能技术领域，尤其涉及到一种蒸镀腔及镀膜机。

背景技术

铜铟镓硒(CIGS)蒸发式镀膜机，为了增加CIGS的晶相结构，提高CIGS的薄膜的发电效率，一般通过蒸镀的方式，增加一层辅助材料(一般是碱金属如氟化钠，氟化钾)最终形成能够辅助太阳能发电的薄膜层，为CIGS薄膜生长和提升后期发电效率奠定基础。但是，目前蒸发源设置时容易造成蒸镀腔设备性能不均，发电效率和成品率极易受影响。

实用新型内容

本实用新型提供了一种蒸镀腔及镀膜机，用以提高蒸镀的效果。

本实用新型提供了一种蒸镀腔，所述蒸镀腔具备蒸镀腔本体，所述蒸镀腔本体包括底板以及与所述底板连接的左侧壁和右侧壁所述左侧壁上设有至少一个左蒸发源，所述右侧壁上设有至少一个右蒸发源，所述左侧壁和所述右侧壁相对倾斜设置。

在上述技术方案中，将蒸发源安装在蒸镀腔的侧壁，通过在左侧壁及右侧壁分别设置的至少一个左蒸发源及右蒸发源，提高了辅助材料(碱金属)蒸镀时的均匀性，进而提高蒸镀的效果。提高CIGS沉积的晶相结构，提升薄膜太阳能电池的发电率以及成品率。

所述左蒸发源设有多个，在所述左侧壁上排列成一排，所述右蒸发源有多个，在所述右侧壁上排列成一排。采用多个蒸发源，且每个侧壁的蒸发源均排列成一排，从而可以合理利用侧壁上的空间，提高蒸镀的效果。

所述左蒸发源设有多个，在所述左侧壁上排列成至少两排，所述右蒸发源设有多个，在所述右侧壁上排列成至少两排。采用两排排列方式，将单个蒸发源功率可以进一步缩小，同时使蒸镀效果更加均匀。

所述左蒸发源排列成上、下两排，且所述上排蒸发源与所述下排蒸发源对齐或错开；所述右蒸发源也排列成上、下两排，且所述右侧壁上的上排蒸发源与所述下排蒸发源对齐或错开。本技术方案中，对齐或错开的排列方式，从而可以合理利用侧壁上的空间，提高蒸镀的效果。

所述左侧壁和所述右侧壁被设置成相对于所述底板对称；所述左蒸发源和所述右蒸发源被设置成相对于所述底板的中心线对称。在具体设置时，所述左侧壁、所述右侧壁对称设置在所述底板两侧；所述至少一个左蒸发源与所述至少一个右蒸发源以所述底板中心线为轴对称设置。通过采用左侧壁及右侧壁对称设置，同时左蒸发源及右蒸发源对称设置进一步的提高了蒸镀效果。

所述左蒸发源与铅直面的倾角介于10～60度。从而使得左蒸发源的开口方向朝向蒸镀的方向，进一步的提高蒸镀效果。

所述蒸镀腔还包括设置在所述底板上的至少一个第二蒸发源。通过左、右蒸发源与第二蒸发源的配合，共同提高蒸发效果。上述的第二蒸发源，可以作为原来的碱金属蒸发源，也可以根据需要解放出来，作为其他金属蒸发源，配合进行蒸发镀膜。

所述第二蒸发源设有多个，多个所述第二蒸发源至少排列成一排。本技术方案中，为了更好的提高蒸镀效果，将蒸发源排列成排，提高可控性。

所述第二蒸发源排列成两排；两排所述第二蒸发源相对于所述底板的中心线对称排列。

此外，还提供了一种镀膜机，该镀膜机包括上述的任一项所述的蒸镀腔。在上述技术方案中，通过在侧壁上设置左蒸发源，提高了蒸镀时的均匀性，进而提高蒸镀的效果。进而提高太阳能发电板的发电率以及成品率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的蒸镀腔的结构示意图；