[实用新型]一种蒸镀腔及镀膜机有效
| 申请号： | 201821806428.5 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209322996U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 田保峡;闻益 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀腔 右侧壁 蒸发源 左侧壁 镀膜机 蒸镀 太阳能发电板 底板 本实用新型 底板连接 相对倾斜 成品率 均匀性 侧壁 发电 | ||
1.一种蒸镀腔，所述蒸镀腔具备蒸镀腔本体，所述蒸镀腔本体包括底板以及与所述底板连接的左侧壁和右侧壁；其特征在于：所述左侧壁上设有至少一个左蒸发源，所述右侧壁上设有至少一个右蒸发源，所述左侧壁和所述右侧壁相对倾斜设置。
2.如权利要求1所述的蒸镀腔，其特征在于，所述左蒸发源设有多个，在所述左侧壁上排列成一排，所述右蒸发源有多个，在所述右侧壁上排列成一排。
3.如权利要求1所述的蒸镀腔，其特征在于，所述左蒸发源设有多个，在所述左侧壁上排列成至少两排，所述右蒸发源设有多个，在所述右侧壁上排列成至少两排。
4.如权利要求3所述的蒸镀腔，其特征在于，所述左蒸发源排列成上、下两排，且所述上排蒸发源与所述下排蒸发源对齐或错开；所述右蒸发源也排列成上、下两排，且所述右侧壁上的上排蒸发源与所述下排蒸发源对齐或错开。
5.根据权利要求1所述的蒸镀腔，其特征在于，所述左侧壁和所述右侧壁被设置成相对于所述底板对称；所述左蒸发源和所述右蒸发源被设置成相对于所述底板的中心线对称。
6.如权利要求1～5中的任一项所述的蒸镀腔，其特征在于，所述左蒸发源与铅直面的倾角介于10～60度。
7.如权利要求6所述的蒸镀腔，其特征在于，所述蒸镀腔还包括设置在所述底板上的至少一个第二蒸发源。
8.如权利要求7所述的蒸镀腔，其特征在于，所述第二蒸发源设有多个，多个所述第二蒸发源至少排列成一排。
9.如权利要求7所述的蒸镀腔，其特征在于，所述第二蒸发源排列成两排；两排所述第二蒸发源相对于所述底板的中心线对称排列。
10.一种镀膜机，其特征在于，包括如权利要求1～9中的任一项所述的蒸镀腔。
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