[实用新型]一种底座可移动的蓝宝石晶体生长炉有效

专利信息
申请号: 201821657230.5 申请日: 2018-10-12
公开(公告)号: CN208869722U 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 康森;丁钰明;常慧;石天虎;尚吉龙;鲍磊;韩斌;王国强 申请(专利权)人: 天通银厦新材料有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B11/00
代理公司: 银川瑞海陈知识产权代理事务所(普通合伙) 64104 代理人: 陈晓庆
地址: 750021 宁夏回族自治区银*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 支撑底座 丝杠机构 同步电机 坩埚升降 坩埚托盘 移动腔 坩埚 蓝宝石晶体生长 本实用新型 上下运动 可移动 支撑柱 装卸料 底座 加热器 安全性能 底保温板 底加热器 固定焊接 驱动丝杠 升降位置 水平安装 可调控 有效地 炉内 炉体 下端 升降 体内 驱动
【权利要求书】:

1.一种底座可移动的蓝宝石晶体生长炉,包括炉体(1),炉体(1)内上部分为主腔(2),下部分为移动腔(3),其特征在于:所述移动腔(3)内设有坩埚升降装置,坩埚升降装置由支撑底座(4)、丝杠机构(5)及同步电机(6)构成;所述支撑底座(4)水平安装于丝杠机构(5)之间,同步电机(6)设置于移动腔(3)的底部,且与丝杠机构(5)相连接而驱动支撑底座(4)上下运动;所述支撑底座(4)上固定焊接有支撑柱(7),支撑柱(7)上方固定安装坩埚托盘(8),坩埚托盘(8)上设置坩埚(9);所述支撑底座(4)上于坩埚托盘(8)下方设置有底加热器(10),底加热器(10)下端设有底保温板(11)。

2.根据权利要求1所述的一种底座可移动的蓝宝石晶体生长炉,其特征在于:所述炉体(1)的主腔(2)为保温腔,所述主腔(2)上安装有炉盖(12),炉盖(12)的中间位置设有籽晶提拉杆开口(13),用于SL轴(14)与籽晶连接杆(15)伸入主腔(2)内拉升籽晶晶体生长。

3.根据权利要求1所述的一种底座可移动的蓝宝石晶体生长炉,其特征在于:所述同步电机(6)为可调速电机。

4.根据权利要求1所述的一种底座可移动的蓝宝石晶体生长炉,其特征在于:所述支撑底座(4)与底保温板(11)之间保持一定的空间距离。

5.根据权利要求1或4所述的一种底座可移动的蓝宝石晶体生长炉,其特征在于:所述支撑底座(4)采用石墨支撑底座。

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