[实用新型]一种石英快排槽

说明书

本实用新型公开了一种石英快排槽，对排液管和快排阀之间的连接采用套接方式来替代传统的螺纹连接方式，将快排阀的盖体通过第一弹性密封圈密封套设于石英槽体的排液管外周，盖体另一端通过弹性密封环与盖板密封连接，且盖板和排液管口存在一定间隙，由此不仅通过该间隙阻断了快排阀开闭时产生的振动及冲击力对排液管以及石英槽体的直接传递，同时利用第一弹性密封圈和弹性密封环缓冲吸收了大部分通过盖体传递至排液管以及石英槽体的振动冲击，因而显著提高了石英槽体的工作稳定性，并且有效延长了石英槽体的使用寿命，本实用新型结构简单，实用性强，值得推广。

技术领域

本实用新型涉及半导体湿法清洗设备领域，尤其涉及一种石英快排槽。

背景技术

在半导体行业中，硅片等的清洗通常在石英清洗槽中进行。石英槽上分别设有进液管和排液管，排液管处通常设有快排阀，清洗液首先通过进液管进入石英槽内部，对硅片进行清洗，然后依次经过排液管和快排阀排出石英槽外部。现有的石英槽，其排液管和快排阀之间往往通过螺纹连接紧固，在快排阀开启和关闭的过程中，其内部常常会产生一定的振动及冲击力，该振动及冲击力通过螺纹传递至排液管以及石英槽槽体，由于石英材质本身质地较脆，对振动及冲击力的吸收能力也较差，如此一来，不但石英槽工作的稳定性会受到不利影响，而且长期使用后石英槽槽体容易产生应力开裂等问题，因而降低了石英清洗槽的使用寿命。

实用新型内容

针对上述存在的技术问题，本实用新型的目的是提供一种石英快排槽，对传统石英快排槽结构进行改进，以提高石英槽的工作稳定性，并且延长石英槽的使用寿命。

本实用新型所采用的技术方案如下：一种石英快排槽，包括石英槽体，所述石英槽体上分别贯穿设有槽体进液口和槽体排液口，所述槽体进液口固定连接有进液管，所述槽体排液口固定连接有排液管，所述排液管另一端套设有快排阀，所述快排阀包括密封盖和可往复活动的阀塞，所述密封盖包括中空的盖体，所述盖体同轴套设于排液管远离石英槽体一端的外周表面，盖体内壁与排液管外壁之间通过第一弹性密封圈形成密封连接，盖体远离石英槽体一端延伸超出排液管管口，该端部的纵向表面上设有弹性密封环，所述弹性密封环另一侧密封连接有纵向的盖板，所述盖板中心轴线与排液管中心轴线重合，所述盖板的中心位置设有贯穿的阀体出液口，所述阀塞位于盖板另一侧，阀塞与盖板之间通过第二弹性密封圈密封连接，阀塞另一侧连接有阀体驱动装置。

进一步的，所述盖板中部向石英槽体方向凹陷，所述阀塞中部呈凸起状，所述凸起状的形状与盖板中部的凹陷形状相匹配，且当快排阀关闭时凸起状表面与盖板中部的凹陷表面之间存在间隙，所述阀塞边缘部分和盖板边缘部分通过第二弹性密封圈密封连接。

进一步的，所述盖体和盖板分别为树脂盖体和树脂盖板。

进一步的，所述阀体驱动装置包括伸缩气囊，所述伸缩气囊内部设有锥形弹簧，伸缩气囊一端与阀塞远离盖板的一侧固定连接，伸缩气囊另一端连接有中空的阀壳，所述阀壳远离伸缩气囊的一端密封连接有阀座，所述阀座与阀壳内壁构成密封空腔，阀壳另一端设有阀芯，所述阀芯一端延伸至伸缩气囊内部，阀芯另一端穿过阀壳延伸至密封空腔内，且该端部的外周面与阀壳内壁密封配合，该端部将密封空腔分割为第一腔室和第二腔室，所述阀壳侧部还分别贯穿设有第一通气孔和第二通气孔，所述第一通气孔连通第一腔室，所述第二通气孔连通第二腔室。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：对排液管和快排阀之间的连接采用套接方式来替代传统的螺纹连接方式，将快排阀的盖体通过第一弹性密封圈密封套设于石英槽体的排液管外周，盖体另一端通过弹性密封环与盖板密封连接，且盖板和排液管口存在一定间隙，由此不仅通过该间隙阻断了快排阀开闭时产生的振动及冲击力对排液管以及石英槽体的直接传递，同时利用第一弹性密封圈和弹性密封环缓冲吸收了大部分通过盖体传递至排液管以及石英槽体的振动冲击，因而显著提高了石英槽体的工作稳定性，并且有效延长了石英槽体的使用寿命，本实用新型结构简单，实用性强，值得推广。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；