[实用新型]一种石英快排槽有效
申请号: | 201821619827.0 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN208690221U | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 金金明;卡尔·罗伯特·休斯特 | 申请(专利权)人: | 硅密(常州)电子设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 张军 |
地址: | 213031 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英槽体 排液管 快排阀 盖体 本实用新型 弹性密封环 弹性密封圈 排槽 石英 螺纹连接方式 工作稳定性 盖板密封 排液管口 使用寿命 套接方式 振动冲击 直接传递 传统的 密封套 盖板 缓冲 开闭 外周 冲击力 传递 替代 吸收 | ||
1.一种石英快排槽,包括石英槽体(1),其特征在于:所述石英槽体(1)上分别贯穿设有槽体进液口和槽体排液口,所述槽体进液口固定连接有进液管(11),所述槽体排液口固定连接有排液管(12),所述排液管(12)另一端套设有快排阀(2),所述快排阀(2)包括密封盖(21)和可往复活动的阀塞(22),所述密封盖(21)包括中空的盖体(211),所述盖体(211)同轴套设于排液管(12)远离石英槽体(1)一端的外周表面,盖体(211)内壁与排液管(12)外壁之间通过第一弹性密封圈(23)形成密封连接,盖体(211)远离石英槽体(1)一端延伸超出排液管(12)管口,该端部的纵向表面上设有弹性密封环(212),所述弹性密封环(212)另一侧密封连接有纵向的盖板(213),所述盖板(213)中心轴线与排液管(12)中心轴线重合,所述盖板(213)的中心位置设有贯穿的阀体出液口,所述阀塞(22)位于盖板(213)另一侧,阀塞(22)与盖板(213)之间通过第二弹性密封圈(24)密封连接,阀塞(22)另一侧连接有阀体驱动装置。
2.如权利要求1所述的一种石英快排槽,其特征在于:所述盖板(213)中部向石英槽体(1)方向凹陷,所述阀塞(22)中部呈凸起状,所述凸起状的形状与盖板(213)中部的凹陷形状相匹配,且当快排阀(2)关闭时凸起状表面与盖板(213)中部的凹陷表面之间存在间隙,所述阀塞(22)边缘部分和盖板(213)边缘部分通过第二弹性密封圈(24)密封连接。
3.如权利要求1或2所述的一种石英快排槽,其特征在于:所述盖体(211)和盖板(213)分别为树脂盖体和树脂盖板。
4.如权利要求1或2所述的一种石英快排槽,其特征在于:所述阀体驱动装置包括伸缩气囊(25),所述伸缩气囊(25)内部设有锥形弹簧,伸缩气囊(25)一端与阀塞(22)远离盖板(213)的一侧固定连接,伸缩气囊(25)另一端连接有中空的阀壳(26),所述阀壳(26)远离伸缩气囊(25)的一端密封连接有阀座(27),所述阀座(27)与阀壳(26)内壁构成密封空腔,阀壳(26)另一端设有阀芯(28),所述阀芯(28)一端延伸至伸缩气囊(25)内部,阀芯(28)另一端穿过阀壳(26)延伸至密封空腔内,且该端部的外周面与阀壳(26)内壁密封配合,该端部将密封空腔分割为第一腔室和第二腔室,所述阀壳(26)侧部还分别贯穿设有第一通气孔和第二通气孔,所述第一通气孔连通第一腔室,所述第二通气孔连通第二腔室。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造