[实用新型]一种真空镀膜装置的传动机构

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜装置的传动机构，包括驱动电机，所述驱动电机固定于真空箱底端，所述驱动电机的轴穿过真空箱底部的轴孔与主转轴焊接，所述真空箱底部设有底板，所述驱动电机的轴与底板中心的轴孔转动连接，所述驱动电机的轴与主转轴焊接处设有主动齿轮，所述主动齿轮与底板固定连接，所述主动齿轮周围与若干从动齿轮啮合，若干所述从动齿轮中心与转筒焊接，所述转筒内壁设有键槽，所述转筒外侧顶端设有卡盘，所述主转轴与底板上方的转盘中心焊接，所述转盘周围设有筒孔，所述筒孔与转筒转动连接，所述转筒内设有立柱，所述立柱底端焊接有连接键，使立柱与柱转轴之间的速度比更加稳定，易于清洗工作室和立柱，封闭门可自动锁紧。

技术领域

本实用新型属于传动机构技术领域，具体涉及一种真空镀膜装置的传动机构。

背景技术

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等；后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，真空镀膜设备，指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD 激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

现有的真空镀膜机传动方式多采用固定式的连接方式。清洗工作室时由于立柱及货架的阻挡不易清洗，其主轴转速与立柱之间的转动速度比不稳定，影响工件的镀膜效果，封闭门需要人工开关，较为费力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜装置的传动机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜装置的传动机构，包括驱动电机，所述驱动电机固定于真空箱底端，所述驱动电机的轴穿过真空箱底部的轴孔与主转轴焊接，所述真空箱底部设有底板，所述驱动电机的轴与底板中心的轴孔转动连接，所述驱动电机的轴与主转轴焊接处设有主动齿轮，所述主动齿轮与底板固定连接，所述主动齿轮周围与若干从动齿轮啮合，若干所述从动齿轮中心与转筒焊接，所述转筒内壁设有键槽，所述转筒外侧顶端设有卡盘，所述主转轴与底板上方的转盘中心焊接，所述转盘周围设有筒孔，所述筒孔与转筒转动连接，所述转筒内设有立柱，所述立柱底端焊接有连接键，所述连接键位于键槽内，所述立柱上焊接有货架，所述立柱顶部设有伸缩柱，所述伸缩柱与顶板上的柱孔转动连接，所述真空箱两侧均设有电机盒，两个所述电机盒内均设有电机，两个所述电机上均焊接有齿轮，所述齿轮与弧形齿条啮合，两个所述弧形齿条分别焊接于封闭门两侧，所述电机盒上设有齿条孔。

优选的，所述转筒外径与筒孔直径相同，所述转筒长度与转盘厚度相同，所述卡盘半径大于筒孔半径。

优选的，所述转筒内径与立柱底端直径相同，所述连接键截面与键槽大小形状相同。

优选的，所述转盘与底板之间的距离大于主动齿轮、从动齿轮的厚度，若干所述从动齿轮的中心在同一圆上。

优选的，所述转盘与顶板之间的距离等于立柱长度，所述柱孔直径与伸缩柱直径相同。

优选的，所述伸缩柱位于立柱内，所述伸缩柱与立柱之间设有弹簧，所述弹簧处于压缩状态，所述封闭门上设有观察窗。

本实用新型的技术效果和优点：该真空镀膜装置的传动机构，通过齿轮传动的方式，使立柱与柱转轴之间的速度比更加稳定，设有易于拆卸安装的立柱，当清洗时可将立柱拆下，使工作室更加宽敞，易于清洗工作室和立柱，独立的电机与齿轮齿条配合可使封闭门自动开关，节省了时间，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的转盘仰视图；