[实用新型]一种真空镀膜装置的传动机构有效
| 申请号： | 201821582389.5 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN208995584U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 陈文静;周鉴;张洪华;陈育茹;李旭涛;温薛鑫;黄家文;谢捷洋;何炫达;肖泽平;梁发文;叶梓锋;高伟聪;冯宇童;梁永美;沈于凯;丁晨锦;陈婷;杨富国 | 申请（专利权）人： | 佛山科学技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘兴亮 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 驱动电机 转筒 底板 焊接 主动齿轮 主转轴 立柱 真空镀膜装置 从动齿轮 转动连接 筒孔 轴孔 啮合 本实用新型 底板中心 立柱底端 转盘中心 转筒内壁 自动锁紧 封闭门 焊接处 连接键 速度比 工作室 键槽 卡盘 转盘 转轴 清洗 穿过 | ||
1.一种真空镀膜装置的传动机构，包括驱动电机(1)，其特征在于：所述驱动电机(1)固定于真空箱(2)底端，所述驱动电机(1)的轴穿过真空箱(2)底部的轴孔(27)与主转轴(5)焊接，所述真空箱(2)底部设有底板(3)，所述驱动电机(1)的轴与底板(3)中心的轴孔(27)转动连接，所述驱动电机(1)的轴与主转轴(5)焊接处设有主动齿轮(14)，所述主动齿轮(14)与底板固定连接，所述主动齿轮(14)周围与若干从动齿轮(15)啮合，若干所述从动齿轮(15)中心与转筒(20)焊接，所述转筒(20)内壁设有键槽(19)，所述转筒(20)外侧顶端设有卡盘(23)，所述主转轴(5)与底板(3)上方的转盘(4)中心焊接，所述转盘(4)周围设有筒孔(21)，所述筒孔(21)与转筒(20)转动连接，所述转筒(20)内设有立柱(6)，所述立柱(6)底端焊接有连接键(16)，所述连接键(16)位于键槽(19)内，所述立柱(6)上焊接有货架(17)，所述立柱(6)顶部设有伸缩柱(18)，所述伸缩柱(18)与顶板上的柱孔(22)转动连接，所述真空箱(2)两侧均设有电机盒(8)，两个所述电机盒(8)内均设有电机(25)，两个所述电机(25)上均焊接有齿轮(26)，所述齿轮(26)与弧形齿条(10)啮合，两个所述弧形齿条(10)分别焊接于封闭门(12)两侧，所述电机盒(8)上设有齿条孔(7)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置的传动机构，其特征在于：所述转筒(20)外径与筒孔(21)直径相同，所述转筒(20)长度与转盘(4)厚度相同，所述卡盘(23)半径大于筒孔(21)半径。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置的传动机构，其特征在于：所述转筒(20)内径与立柱(6)底端直径相同，所述连接键(16)截面与键槽(19)大小形状相同。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置的传动机构，其特征在于：所述转盘(4)与底板(3)之间的距离大于主动齿轮(14)、从动齿轮(15)的厚度，若干所述从动齿轮(15)的中心在同一圆上。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置的传动机构，其特征在于：所述转盘(4)与顶板(9)之间的距离等于立柱(6)长度，所述柱孔(22)直径与伸缩柱(18)直径相同。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置的传动机构，其特征在于：所述伸缩柱(18)位于立柱(6)内，所述伸缩柱(18)与立柱(6)之间设有弹簧(24)，所述弹簧(24)处于压缩状态，所述封闭门(12)上设有观察窗(13)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山科学技术学院，未经佛山科学技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821582389.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：冷却装置及镀膜设备
- 下一篇：芯片真空镀膜用一装多定位环及蒸发锅
- 同类专利
- 专利分类
