[实用新型]通用型板舟

说明书

通用型板舟。涉及用于半导体制造中扩散工艺的板舟，具体涉及对现有板舟的改进。提供了一种结构紧凑，能增加板舟对硅片尺寸适应范围、便于生产管理的通用型板舟。包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置插接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径，所述限位单元一和限位单元二错位设于舟体上。本实用新型从整体上具有结构紧凑，能增加板舟对硅片尺寸适应范围、便于生产管理的特点。

技术领域

本实用新型涉及用于半导体制造中扩散工艺的板舟，具体涉及对现有板舟的改进。

背景技术

扩散工艺是半导体制造过程中的一道关键工序，其需要使用一种硅片承载装置用于装载硅片，然后再将装有硅片的硅片承载装置送入扩散炉内进行集中扩散。目前，在硅片进行预扩散和再扩散时，使用板舟作为硅片承载装置，需要把硅片与硼磷纸叠于板舟上进行扩散。此时我们需要用氮化硅插棒插于硅板舟上以便固定硅片，使硅片均匀的进行杂质注入。

目前生产过程中使用的板舟，包含针对不同硅片尺寸使用不同的舟，如图5-6所示，由于生产产品多样性及不同时段不同需求量，不同的板舟均需配置一定的安全库存，导致治具的浪费和较大的投入，同时受作业环境特定要求，治具的存放还需增加更多的投入便于有效保持清洁，导致更大的投入，且不便于生产管理。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构紧凑，能增加板舟对硅片尺寸适应范围、便于生产管理的通用型板舟。

本实用新型的技术方案是：包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置插接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径，

所述限位单元包括限位单元一和限位单元二，所述限位单元一内的硅片直径大于所述限位单元二内的硅片直径；

所述限位单元一和限位单元二错位设于舟体上。

所述插棒的底部呈锥形，所述插棒中部与插孔过盈配合。

所述插孔内设有挡板，所述插孔的底部设有弹簧，所述弹簧支撑所述挡板。

所述插孔为内螺纹孔，所述挡板适配地设于螺纹孔内；

所述挡板的顶部设有容置槽一，所述插棒的底部设有容置槽二，所述容置槽二位于容置槽一的上方，所述容置槽一和容置槽二内均设有磁铁。

本实用新型在工作中将插棒插入对应限位单元的插孔内，就可以适应不同尺寸的硅片；限位单元一对应的插孔与限位单元二对应的插孔，不会存在不完全重叠的可能，这样，根据晶片的尺寸，选择对应大小的限位单元，并在对应的插孔内插入插棒，使得同一块板舟可以适应不同尺寸的晶片，增加板舟对硅片尺寸适应范围的同时便于生产管理，降低管理成本。本实用新型从整体上具有结构紧凑，能增加板舟对硅片尺寸适应范围、便于生产管理的特点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图，

图2是实施例一结构示意图，

图3是实施例二结构示意图，

图4是图3中A处放大图，

图5是背景技术图一，

图6是背景技术图二；

图中1是舟体，11是插孔，

2是插棒，20是容置槽二，

3是硅片，

41是限位单元一，42是限位单元二，

5是挡板，50是容置槽一，