[实用新型]一种晶圆流片用散热性能检测装置

说明书

本实用新型涉及晶圆流片检测装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用散热性能检测装置，其可节约水资源，提高使用性；同时方便移动检测头使其与样品进行接触，提高使用效果；且减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性；同时方便将样品从限位环内取出，提高使用效果；包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，三组显示器分别与三组检测头电连接；还包括连通管、抽液泵和加热器，进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接；支撑架包括四组第一伸缩电机和顶板；还包括放置盒和调节件，放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件，限位环底端与放置槽内底壁接触。

技术领域

本实用新型涉及晶圆流片检测装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用散热性能检测装置。

背景技术

众所周知，晶圆流片用散热性能检测装置是一种用于晶圆流片生产过程中，对其散热性能进行检测，以保证其质量的辅助装置，其在晶圆流片质检领域中得到广泛的使用；现有的晶圆流片用散热性能检测装置包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别设置在工作台顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；现有的晶圆流片用散热性能检测装置使用时只需将三组检测样品分别放入三组限位环内进行固定，并使三组检测头分别与三组检测样品接触，之后通过进水管内放置腔内输入热水，使热水的热量传送到检测样品上，同时通过检测头对样品温度进行检测，当达到规定数值时停止向放置腔内输入热水，使样品自行进行散热，并在散热过程中通过显示器对样品的温度进行实时查看并进行记录，直至样品温度恢复到初始值时停止检测，并将样品取出，最后对检测结果进行归纳总结即可；现有的晶圆流片用散热性能检测装置使用中发现，加热时会耗费较多热水，导致其较耗资源，使用性有限；并且每次使用时均需人工移动检测头使其与样品进行接触，较为麻烦；且加热后工作台上还会留有余热，从而影响样品的散热效果，导致其使用可靠性有限；并且样品位于限位环内部，后续对其进行取出时较为麻烦，从而导致其使用效果有限。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可节约水资源，提高使用性；同时方便移动检测头使其与样品进行接触，提高使用效果；且减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性；同时方便将样品从限位环内取出，提高使用效果的晶圆流片用散热性能检测装置。

本实用新型的一种晶圆流片用散热性能检测装置，包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；还包括连通管、抽液泵和加热器，所述抽液泵和加热器分别设置在工作台左端上半区域和右端上半区域上，且进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接，所述连通管设置在抽液泵的底部输出端上，且连通管与加热器相通；所述支撑架包括四组第一伸缩电机和顶板，四组第一伸缩电机分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，并在四组第一伸缩电机的顶部输出端上均设置有第一驱动杆，且四组第一驱动杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；还包括放置盒和调节件，所述调节件设置在顶板上，放置盒设置在调节件上，所述放置盒顶端设置有放置槽，且放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件，所述移动件设置在放置槽内，且移动件与限位环连接，所述限位环底端与放置槽内底壁接触。