[实用新型]一种背封炉喷料机构用防尘保温装置

说明书

本实用新型提供了一种背封炉喷料机构用防尘保温装置，该防尘保温装置包括底座、支撑杆、调节杆、防尘板及保温板，支撑杆设置在底座的上方，支撑杆为中空结构，支撑杆顶端的侧面上开设有安装孔Ⅰ和安装孔Ⅱ，调节杆上间隔设置有若干个安装孔Ⅲ，固定销依次穿过安装孔Ⅰ、安装孔Ⅲ、安装孔Ⅱ后将调节杆固定在支撑杆上，调节杆的一端从支撑杆的顶端穿设到支撑杆的中空结构内，调节杆的另一端依次穿过防尘板和保温板后位于喷料腔内，防尘板的下方设置有弹性组件，保温板设置在喷料腔的内部，防尘板设置在喷料腔出料端的正下方，本装置可以在喷头取下之后喷料腔中的空隙盖住，避免灰尘进入，减少沾污，同时也能阻挡热量散失，节省能量。

技术领域

本实用新型属于半导体材料生产技术领域，主要目的是提供一种背封炉喷料机构用防尘保温装置。

背景技术

半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺。一种重要的背封工艺就是采用常压化学气象淀积（APCVD）原理在硅片背面生长一层二氧化硅薄膜。执行该背封工艺主流设备有一种是常压式背封炉即APCVD背封炉，工作原理即将硅片放到履带上，匀速通过喷头下方，喷头喷出硅烷与氧气在硅片表面发生反应，并通过氮气使之与大气进行隔离。适当的气体配合500度左右的高温在常压环境下进行反应，在硅片背面生成一层二氧化硅薄膜。

在生产过程中为保证工艺质量，每隔一段时间要将喷头取下，进行清洁维护。喷头取下之后，腔体会暴露在环境当中。由于喷头维护频率较高，且每次清理用时较长。在清理喷头过程中，灰尘等杂质容易进入腔体，造成沾污，且腔体内温度散失严重。

实用新型内容

针对现有技术所存在的问题，本实用新型提出了一种背封炉喷料机构用防尘保温装置，可以在喷头取下之后喷料腔中的空隙盖住，避免灰尘进入，减少沾污。同时也能阻挡热量散失，节省能量。大大提高了工艺的稳定性和产品质量。

本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案是：一种背封炉喷料机构用防尘保温装置，所述喷料机构包括喷料腔及设置在所述喷料腔出料端且与所述喷料腔相连通的喷头，该防尘保温装置用于喷头取下后对喷料腔进行防尘保温，该防尘保温装置设置在喷料腔正下方，所述防尘保温装置包括底座、支撑杆、调节杆、防尘板及保温板，所述底座、所述支撑杆、所述调节杆、所述防尘板及所述保温板从下到上依次设置；所述支撑杆设置在所述底座的上方且与所述底座相连，所述支撑杆为中空结构，所述支撑杆顶端的侧面上开设有安装孔Ⅰ和安装孔Ⅱ，所述安装孔Ⅰ和所述安装孔Ⅱ关于所述支撑杆的中心轴线对称设置；

所述调节杆在竖直方向上间隔设置有若干个安装孔Ⅲ，所述支撑杆通过固定销与所述调节杆相连，所述固定销依次穿过安装孔Ⅰ、安装孔Ⅲ、安装孔Ⅱ后将调节杆固定在所述支撑杆上，所述调节杆的一端从所述支撑杆的顶端穿设到所述支撑杆的中空结构内，所述调节杆的另一端依次穿过所述防尘板和所述保温板后位于所述喷料腔内，所述防尘板的下方设置有弹性组件，所述弹性组件包括弹簧和限位块，所述限位块套设在所述调节杆的外周壁上，所述弹簧套设在所述调节杆的外周壁上且所述弹簧的一端与限位块固定相连，所述弹簧的另一端与防尘板的底面固定连接，所述保温板和防尘板均垂直于所述调节杆设置，所述保温板设置在所述喷料腔的内部，所述防尘板设置在所述喷料腔出料端的正下方。

进一步的，所述保温板的宽度小于等于所述喷料腔内部的宽度。

进一步的，所述防尘板的宽度大于所述喷料腔出料端的宽度。

进一步的，所述防尘板的宽度大于所述保温板的宽度。

进一步的，所述保温板和所述防尘板均为圆形板，所述防尘板的直径大于所述保温板的直径。

进一步的，所述保温板和所述防尘板均为316不锈钢板。