[实用新型]一种蓝宝石单晶炉冷却装置有效

专利信息
申请号: 201821087024.5 申请日: 2018-07-10
公开(公告)号: CN208857391U 公开(公告)日: 2019-05-14
发明(设计)人: 王慧远 申请(专利权)人: 山西中聚晶科半导体有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B17/00
代理公司: 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 代理人: 赵科
地址: 030600 山西省晋中市山*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 蓝宝石单晶 流速变送器 液位变送器 报警装置 电磁球阀 高位水箱 循环泵组 单晶炉 炉冷却 加热装置电源 输出端口连接 影响安全生产 本实用新型 高位出水管 备用电源 电源电路 供电故障 经济损失 剩余水量 输入端口 总回水管 总进水管 感应器 供水源 进水管 水箱 电路 检测 安全
【说明书】:

本实用新型提供一种蓝宝石单晶炉冷却装置,包括循环泵组,总进水管、总回水管,蓝宝石单晶炉上方设置有高位水箱,高位水箱配有高位进水管和高位出水管、液位变送器、报警装置、电磁球阀、流速变送器、PLC控制器,其中,循环泵组的电源电路、液位变送器、流速变送器连接PLC控制器输入端口,PLC控制器输出端口连接电磁球阀、报警装置和蓝宝石单晶炉加热装置电源电路。当出现供电故障时,可迅速切换供水源,使单晶炉还能够维持运行,同时设置感应器和PLC控制器,当备用电源也无法及时启动且检测到水箱中剩余水量无法在安全的时间范围内维持循环时,再关闭单晶炉,即可在不影响安全生产的前提下,挽回不必要的经济损失。

技术领域

本实用新型涉及一种冷却设备,特别涉及一种蓝宝石单晶炉冷却装置。

背景技术

蓝宝石晶体生产中,泡生法是常用的方法,生产过程中需要大量的冷却水循环水给炉体降温,冷却循环水的作用是保护通水结构免于受热变形和通过散热促进炉内梯度形成。若因供电问题导致冷却水循环停止,会导致炉内晶体生长环境破坏,造成经济损失,若循环停止时间过长,则随时会有爆炸的危险。现有的防范机制为,一旦供电线路出现问题,切换备用电源,同时炉内加热即停止,这样对企业的经济损失较大,如切换不及时或备用电源也出现故障,对设备的安全运转是极为不利的。

发明内容

针对现有技术的不足,本实用新型提供一种蓝宝石单晶炉冷却装置。

本实用新型采用的技术方案是:一种蓝宝石单晶炉冷却装置,包括循环泵组,总进水管、总回水管,总进水管分为炉体进水管、炉盖进水管、电极进水管、籽晶杆进水管,总回水管分为炉体回水管、炉盖回水管、电极回水管、籽晶杆回水管,所述循环泵组设置于总进水管,蓝宝石单晶炉上方设置有高位水箱,高位水箱配有高位进水管和高位出水管,高位水箱内设置液位变送器,高位水箱外设置报警装置,高位出水管设置有电磁球阀和流速变送器,所述高位出水管与所述炉体进水管、炉盖进水管、电极进水管、籽晶杆进水管连通,所述液位变送器、流速变送器、电磁球阀匹配有PLC控制器,其中,循环泵组的电源电路、液位变送器、流速变送器连接PLC控制器输入端口,PLC控制器输出端口连接电磁球阀、报警装置和蓝宝石单晶炉加热装置电源电路。

本实用新型设置高位水箱,当出现供电故障时,可迅速切换供水源,使单晶炉还能够维持运行,同时设置感应器和PLC控制器,当备用电源也无法及时启动且检测到水箱中剩余水量无法在安全的时间范围内维持循环时,再关闭单晶炉,即可在不影响安全生产的前提下,挽回不必要的经济损失。

附图说明

图1为本实用新型实施例一结构示意图;

图2为本实用新型实施例一电控结构示意图;

图3为本实用新型实施例二结构示意图。

图中:1-总进水管,11-炉体进水管,12-炉盖进水管,13-电极进水管,14-籽晶杆进水管,15-循环泵组,2-总回水管,21-炉体回水管,22-炉盖回水管,23-电极回水管,24-籽晶杆回水管,25-回水水池,3-高位水箱,31-高位进水管,32-高位出水管,33-液位变送器,34-电磁球阀,35-流速变送器,36-警报器,37-手动开闭阀门,4-PLC控制器,41-继电器,5-单晶炉。

具体实施方式

实施例一:

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