[实用新型]一种用于探针接触类测试设备的测试装置

说明书

本实用新型公开了一种用于探针接触类测试设备的测试装置，包括测试电路板和绝缘层；测试电路板包括多个测试点，多个测试点用于测试被测探针组的接触性以及测试准确性；绝缘层设置于测试电路板的表面，绝缘层设置有与每个测试点位置对应的开孔以裸露每个所述测试点。本实用新型所述用于探针接触类测试设备的测试装置，测试电路板与探针的接触点裸露，其余部分有绝缘镀层，从而可以评估探针头的位置是否有偏差，以便于工作人员可以及时调整被测探针组的安装位置或更换探针。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是指一种用于探针接触类测试设备的测试装置。

背景技术

在研发和制备半导体器件的过程中，尤其是光电器件如太阳能电池，样片会经过多道工艺和测试，其中一道或多道为电学测试，如薄膜电池的绝缘刻线测试、太阳能电池的IV曲线测试等，往往由探针接触类测试设备中的一组弹性探针下压进行测试。探针与基板的接触性直接影响测试结果，因此在工厂生产中，需要定期对探针进行接触性测试、准确性测试以及校准，同时更换探针后亦需此步骤以保证测试的准确性。

现有技术中，对探针进行测试时需要在测试机台的探针组下方安装一个测试装置，之后直接将探针压到该测试装置上进行测试，测试装置上用于与探针接触的部分的面积很大，便于能够方便的对探针进行测试。但是在这种情况下，即使探针存在因变形等原因造成的位置偏差，也能够顺利通过测试，降低了探针测试的准确性。而使用不准确的探针对基板进行测试时，无法得到准确的测试结果。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种用于探针接触类测试设备的测试装置，能够提高探针测试的准确性。

基于上述目的本实用新型提供的一种用于探针接触类测试设备的测试装置，包括测试电路板和绝缘层；

所述测试电路板包括多个测试点，多个所述测试点用于测试被测探针组的接触性以及测试准确性；

所述绝缘层设置于所述测试电路板的表面，所述绝缘层设置有与每个所述测试点位置对应的开孔以裸露每个所述测试点。

可选的，所述测试电路板包括至少一个测试电路，每个所述测试电路包括平行设置的第一电路和第二电路，所述第一电路、所述第二电路分别设置有多个与所述测试点对应的连接点，所述第一电路、所述第二电路上相邻的两个所述连接点用于实现相邻两个探针的阻值准确性测试；所述第一电路、所述第二电路上位置对应的两个所述连接点连接，用于实现探针对的接触性测试。

可选的，位于所述第一电路、所述第二电路上位置对应的两个所述连接点通过导线连接。

可选的，所述第一电路、所述第二电路上相邻的两个所述连接点通过导线连接。

可选的，所述第一电路、所述第二电路上相邻的两个所述连接点之间分别连接有单个标准电阻。

可选的，一个所述测试电路上的多个所述标准电阻集成在一个标准电阻条上，所述标准电阻条通过定位扣固定在所述测试电路板上。

可选的，所述开孔大于被测探针组的探针头。

可选的，所述测试装置还包括固定机构以及移动机构，所述固定机构用于固定所述测试电路板，所述固定机构与所述移动机构连接；所述移动机构用于设置在测试机台上且与所述测试机台的控制器连接，所述移动机构用于接收所述控制器的指令实现所述测试电路板的移动。

可选的，所述测试装置还包括旋转机构，所述旋转机构设置在所述固定机构与所述移动机构之间，用于在测试完成后将所述测试电路板旋转至被测探针组的侧面。