[实用新型]硅片分片机

说明书

本实用新型涉及一种硅片分片机，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。上述硅片分片机，无需将硅片花篮中的硅片预先取出，在硅片花篮中即可将吸合在一起的硅片分开，同时通过侧端吸盘和顶端吸盘的协同吸附作用提高了分片效率，降低了在分片过程中硅片出现碎片和隐裂的几率，实现了硅片分片的全程自动化操作，无需人工处理。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，特别是涉及一种硅片分片机。

背景技术

硅片在黑硅槽式机中进行单面制绒的过程中，位于硅片花篮同一篮齿中的两片硅片会由于液体的张力作用两两吸合在一起，完成表面制绒的硅片从黑硅槽式机出来后，需要将硅片花篮中吸合在一起的硅片分开，才能进入制绒清洗链式机进行硅片表面清洗、烘干及后续的检验、包装。目前对于硅片分片采取的是人工分片的方法，不仅分片效率低、容易造成碎片和隐裂，硅片中夹杂的酸碱溶液还会对工人的身体健康造成伤害。

实用新型内容

基于此，有必要针对硅片人工分片效率低、质量不稳定、易造成健康损害的问题，提供一种硅片分片机。

一种硅片分片机，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，用于将硅片花篮通过夹持作用固定在所述工作平台的工作平面上，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。

上述硅片分片机，无需将硅片花篮中的硅片预先取出，在硅片花篮中即可将吸合在一起的硅片分开，可以实现与硅片上下游处理设备之间的连续化操作，同时通过侧端吸盘和顶端吸盘的协同吸附作用提高了分片效率，降低了在分片过程中硅片出现碎片和隐裂的几率，单台分片机器日产能可达17万片，实现了硅片分片的全程自动化操作，无需人工处理。

在其中一个实施例中，所述夹持机构为气缸夹持机构，所述气缸夹持机构包括相对于硅片花篮承载区的X向气缸和Y向气缸。

在其中一个实施例中，所述侧端吸盘和顶端吸盘为微孔陶瓷真空吸盘。

在其中一个实施例中，所述侧端吸盘沿设置于工作平台的工作平面上的丝杠相对于硅片花篮进行位置移动。

在其中一个实施例中，所述侧端吸盘与伺服电机电连接。

在其中一个实施例中，所述顶端吸盘与外设的机器人设备连接。

附图说明

图1为本实用新型实施例的硅片分片机结构示意图(吸盘未画出)；

图2为本实用新型实施例的硅片分片机的侧端吸盘在插入硅片花篮前的位置示意图；

图3为本实用新型实施例的硅片分片机的侧端吸盘在插入硅片花篮后的位置示意图；

图4为本实用新型实施例的硅片分片机的侧端吸盘在插入硅片花篮后，顶端吸盘插入硅片花篮前的位置示意图；

图5为本实用新型实施例的硅片分片机的侧端吸盘与顶端吸盘吸附硅片花篮中硅片具体位置的位置示意图；

图6为本实用新型实施例的硅片分片机的顶端吸盘吸附硅片后在机器人设备带动下将吸住的硅片向上移动的示意图；

图7为本实用新型实施例的硅片分片机的侧端吸盘破真空后退出硅片花篮的示意图；