[实用新型]硅片分片机

权利要求书

1.一种硅片分片机，其特征在于，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，用于将硅片花篮通过夹持作用固定在所述工作平台的工作平面上，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。

2.根据权利要求1所述的硅片分片机，其特征在于，所述夹持机构为气缸夹持机构，所述气缸夹持机构包括相对于硅片花篮承载区的X向气缸和Y向气缸。

3.根据权利要求1所述的硅片分片机，其特征在于，所述侧端吸盘和顶端吸盘为微孔陶瓷真空吸盘。

4.根据权利要求1所述的硅片分片机，其特征在于，所述侧端吸盘沿设置于工作平台的工作平面上的丝杠相对于硅片花篮进行位置移动。

5.根据权利要求1所述的硅片分片机，其特征在于，所述侧端吸盘与伺服电机电连接。

6.根据权利要求1所述的硅片分片机，其特征在于，所述顶端吸盘与外设的机器人设备连接。