[实用新型]硅片承载装置

权利要求书

1.一种硅片承载装置，包括相对设置的第一侧板和第二侧板，以及连接在所述第一侧板和第二侧板之间的若干齿杆，每一齿杆上设有若干间隔设置以用来安置硅片的卡槽；其特征在于：所述第一侧板或所述第二侧板上形成有密闭的容纳空间，所述容纳空间内安置有射频识别标签，所述射频识别标签用于信息的写入或读取。

2.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于：所述第一侧板和/或所述第二侧板的外侧壁上设置有标识部，以区分所述第一侧板和所述第二侧板。

3.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于：所述标识部为涂布在所述第一侧板外侧壁上的呈特定颜色的涂层，且所述特定颜色不同于所述第二侧板的颜色。

4.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于：所述标识部为固定在所述第一侧板外侧壁上的标签。

5.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于：所述齿杆包括与所述第一侧板、第二侧板固定连接的固定齿杆以及与所述第一侧板、第二侧板活动连接的活动齿杆，所述固定齿杆的高度低于所述活动齿杆的高度。

6.根据权利要求5所述的硅片承载装置，其特征在于：所述固定齿杆与所述活动齿杆上均设有若干卡齿，所述卡槽形成于相邻两个卡齿之间，且相邻两个卡齿之间的距离为4-5毫米。

7.根据权利要求6所述的硅片承载装置，其特征在于：所述第一侧板和与其相邻设置的卡齿之间的距离为31-32毫米。

8.根据权利要求6所述的硅片承载装置，其特征在于：所述第二侧板和与其相邻设置的卡齿之间的距离为31-32毫米。

9.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于：所述第一侧板与所述第二侧板的厚度均为10-20毫米。

10.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于：所述硅片承载装置的长度为550-580毫米。