[实用新型]一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚，包括坩埚盖板组合、底板、垂直设置的相连接的四周的侧板，其特征是，所述侧板上部在靠近上边缘位置设有若干排气口，所述坩埚盖板组合包括石墨板、中间盖板，石墨板与侧板上部连接，石墨板中间设有石墨板中间孔，中间盖板的外缘尺寸大于石墨板中间孔尺寸，中间盖板设于石墨板中间孔下部并与靠近石墨板中间孔外围的周边连接，中间盖板设有进气孔，所述中间盖板采用钼板。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚，其特征是，所述石墨板包括两块石墨板一、两块石墨板二，所述两块石墨板一、两块石墨板二与侧板上端连接并分别位于两侧相对位置，每一块石墨板二的两端分别与所对应位置的石墨板一的两端连接。

3.如权利要求2所述的一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚，其特征是，所述石墨板一、石墨板二的两端分别设有连接孔一，所述石墨板一与石墨板二通过螺栓螺母组合、连接孔一连接，所述螺栓螺母组合采用炭炭复合材料制作。

4.如权利要求3所述的一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚，其特征是，在石墨板一和石墨板二上部设有石墨条，石墨条包括纵向设置的石墨条、横向设置的石墨条，所述石墨条、中间盖板、石墨板一、石墨板二上分别设有连接孔二，所述石墨条、中间盖板、石墨板通过钼钉及连接孔二连接。

5.如权利要求4所述的一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚，其特征是，纵向设置的石墨条、横向设置的石墨条分别设有两条共四条，四条石墨条成井字形结构设置。

6.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚，其特征是，钼板厚度2-3mm。

7.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚，其特征是，所述排气口为位于侧板上的通孔。

8.如权利要求7所述的一种多晶硅铸锭降炭组合坩埚，其特征是，在通孔的两端面上设有倒角。