[实用新型]坩埚盖板有效
| 申请号： | 201922057032.6 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN211079405U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 谭水根;龙昭钦;周建国;宋丽平;冷金标;雷鸣;周勤仁 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种坩埚盖板，包括底板和环绕固定于所述底板周边的支撑板，所述底板上开设有导气孔，所述支撑板包括分别与所述底板边缘固定连接的多个支撑部，相邻的两个支撑部固定连接，每个所述支撑部与所述底板倾斜连接，且每个所述支撑部与水平面之间的夹角小于90°。本实用新型中的坩埚盖板通过倾斜设置的支撑板起到良好的气体分流的作用，可降低硅蒸汽对盖板的热冲击力，避免盖板变形，增加了盖板使用寿命，同时能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 盖板 | ||
【主权项】：
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