[实用新型]一种高精度恒压强闭环控制仪

说明书

本实用新型公开了一种高精度恒压强闭环控制仪，包括闭环控制仪本体和真空电控系统，闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱、真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒；真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏蔽箱内的真空计、流量计，以及与真空泵、真空计、流量计电性连接的控制模块。本设计通过真空屏蔽箱和内屏蔽盒的双层设计，并且在内屏蔽盒外侧和真空屏蔽箱内侧都覆盖有电磁屏蔽层，能够有效屏蔽电磁干扰；控制模块通过监测数据实时控制真空泵的进气量来实现真空屏蔽箱内部压强的闭环控制，能够提供稳定的真空环境，保证了芯片的测试结果的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及真空测试设备控制领域，具体的涉及一种高精度恒压强闭环控制仪。

背景技术

陀螺仪或者航空设备上的芯片在使用前需要在真空测试设备中进行测试，要求真空测试设备提供稳定的真空环境并且屏蔽掉外界的电磁干扰，然而现有的真空测试设备防电磁干扰能力不佳，并且不能实现对内部压强的闭环控制，无法提供稳定的真空环境，因此会对芯片的测试结果造成影响。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种防电磁干扰能力强、能够实现对内部压强的闭环控制，提供稳定的真空环境的高精度恒压强闭环控制仪。

本实用新型采用的技术方案是：

一种高精度恒压强闭环控制仪，包括：闭环控制仪本体和真空电控系统，所述闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱，所述真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒，所述内屏蔽盒外侧和真空屏蔽箱内侧皆覆盖有一层电磁屏蔽层；

所述真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏蔽箱内的真空计、流量计，以及与真空泵、真空计、流量计电性连接的控制模块。

进一步的，所述电磁屏蔽层包括铝板、以及覆盖在铝板外侧的铜镍复合膜。

进一步的，所述控制模块包括微处理器、模拟运放单元、数字转换单元、用于控制真空泵开关的阀控单元，所述真空计、流量计皆通过模拟运放单元和数字转换单元与微处理器电性连接，所述微处理器与阀控单元电性连接。

进一步的，所述数字转换单元包括运算放大器U3B、运算放大器U3C、若干稳压二极管、若干电阻和电容；

所述真空计的输入端ADIN2通过电阻R48与运算放大器U3C的输入端IN+相连，所述运算放大器U3C的输出端OUT3通过电阻R68与微处理器的AD2端相连，所述微处理器的AD2端通过并联的电容C41和稳压二极管D12接地；

所述流量计的输入端ADIN1与真空计的输入端ADIN2相连，流量计的输入端ADIN1通过电阻R49与运算放大器U3B的输入端IN+相连，所述运算放大器U3B的输出端OUT2通过电阻R69与微处理器的AD1端相连，所述微处理器的AD1端通过并联的电容C42和稳压二极管D13接地。

进一步的，所述模拟运放单元包括运算放大器U4C、若干电阻和电容；

所述流量计的输出端DAOUT1通过电阻R73与运算放大器U4C的输出端OUT3相连，所述运算放大器U4C的输入端IN+通过依次串联的电阻R53、电阻R34与微处理器的DA1端相连，所述电阻R53与电阻R34的公共端通过电容C38接地。