[实用新型]一种高精度恒压强闭环控制仪

权利要求书

1.一种高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于，包括：闭环控制仪本体(1)和真空电控系统，所述闭环控制仪本体(1)包括支架(11)、设置在支架(11)上的真空屏蔽箱(12)，所述真空屏蔽箱(12)内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒(13)，所述内屏蔽盒(13)外侧和真空屏蔽箱(12)内侧皆覆盖有一层电磁屏蔽层；

所述真空电控系统包括与真空屏蔽箱(12)相连的真空泵(2)、设置在真空屏蔽箱(12)内的真空计、流量计，以及与真空泵(2)、真空计、流量计电性连接的控制模块(3)。

2.根据权利要求1所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述电磁屏蔽层包括铝板、以及覆盖在铝板外侧的铜镍复合膜。

3.根据权利要求1所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述控制模块(3)包括微处理器、模拟运放单元、数字转换单元、用于控制真空泵(2)开关的阀控单元，所述真空计、流量计皆通过模拟运放单元和数字转换单元与微处理器电性连接，所述微处理器与阀控单元电性连接。

4.根据权利要求3所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述数字转换单元包括运算放大器U3B、运算放大器U3C、若干稳压二极管、若干电阻和电容；

所述真空计的输入端ADIN2通过电阻R48与运算放大器U3C的输入端IN+相连，所述运算放大器U3C的输出端OUT3通过电阻R68与微处理器的AD2端相连，所述微处理器的AD2端通过并联的电容C41和稳压二极管D12接地；

所述流量计的输入端ADIN1与真空计的输入端ADIN2相连，流量计的输入端ADIN1通过电阻R49与运算放大器U3B的输入端IN+相连，所述运算放大器U3B的输出端OUT2通过电阻R69与微处理器的AD1端相连，所述微处理器的AD1端通过并联的电容C42和稳压二极管D13接地。

5.根据权利要求3所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述模拟运放单元包括运算放大器U4C、若干电阻和电容；

所述流量计的输出端DAOUT1通过电阻R73与运算放大器U4C的输出端OUT3相连，所述运算放大器U4C的输入端IN+通过依次串联的电阻R53、电阻R34与微处理器的DA1端相连，所述电阻R53与电阻R34的公共端通过电容C38接地。

6.根据权利要求3所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述阀控单元包括阀控开关K6、阀控开关K8、三极管Q8、三极管Q10，所述三极管Q10的基极通过电阻R21与微处理器的控制端O3相连，三极管Q10的发射极接地，三极管Q10的集电极与阀控开关K8的线圈一端相连，所述阀控开关K8的线圈另一端与工作电源相连，阀控开关K8的线圈两端之间设置有二极管D9；所述三极管Q8的基极通过电阻R19与微处理器的控制端O2相连，三极管Q8的发射极接地，三极管Q8的集电极与阀控开关K6的线圈一端相连，所述阀控开关K6的线圈另一端与工作电源相连，阀控开关K6的线圈两端之间设置有二极管D7,所述阀控开关K6的一个动触头与流量计的VD1端相连。

7.根据权利要求3所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：还包括与微处理器相连的485模块、CAN总线模块和网口模块。

8.根据权利要求3所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：还包括与微处理器相连的显示单元和手动开关。

9.根据权利要求3-8任一项所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述微处理器型号为STM32F103C8T6。

10.根据权利要求1所述的高精度恒压强闭环控制仪，其特征在于：所述真空屏蔽箱(12)通过波纹管与真空泵(2)密封连接。