[实用新型]一种区熔硅生产用的用于夹持硅芯的石墨电极夹头有效
| 申请号： | 201820468090.0 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN208071844U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 高召帅;于跃;姜浩;张天雨;李福中;李钊 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/08 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹头 夹头本体 石墨电极 本实用新型 碳化硅涂层 圆锥体 硅芯 夹持 熔硅 垂直中心线 从上到下 夹角为 硅棒 硅料 母线 停炉 侧面 生产 客户 | ||
1.一种区熔硅生产用的用于夹持硅芯的石墨电极夹头，其特征在于，包括夹头本体，夹头本体从上到下依次分为夹头上部(1)、夹头中部(2)和夹头下部(3)；所述夹头上部(1)为圆锥体，圆锥体侧面的母线与夹头本体的垂直中心线的夹角为20～40°。
2.根据权利要求1所述的石墨电极夹头，其特征在于，所述夹头本体的外表面设有碳化硅涂层(4)。
3.根据权利要求2所述的石墨电极夹头，其特征在于，所述碳化硅涂层(4)的厚度为50～100μm。
4.根据权利要求1所述的石墨电极夹头，其特征在于，所述夹头本体的垂直高度为120～150mm。
5.根据权利要求1所述的石墨电极夹头，其特征在于，所述夹头上部(1)设有用于夹持硅芯的卡接孔(5)，且所述卡接孔(5)沿硅芯伸入方向逐渐减小。
6.根据权利要求5所述的石墨电极夹头，其特征在于，所述卡接孔(5)的垂直深度为50～80mm。
7.根据权利要求1所述的石墨电极夹头，其特征在于，所述夹头中部(2)为实心圆柱体。
8.根据权利要求1所述的石墨电极夹头，其特征在于，所述夹头下部(3)设有与电极相适配的圆台形凹槽(6)，且所述圆台形凹槽(6)沿电极伸入方向逐渐减小。
9.根据权利要求8所述的石墨电极夹头，其特征在于，所述圆台形凹槽(6)下底面直径为30～50mm，所述圆台形凹槽(6)高度为40～50mm，所述圆台形凹槽(6)侧面的母线与夹头本体的垂直中心线的夹角为12～15°。
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