[实用新型]一种多晶链式制绒机硅片导向滚轮装置有效
| 申请号： | 201820360417.2 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN208062036U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 曹四辉;张军;周道庆 | 申请（专利权）人： | 湖北天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;C30B29/06;C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 刘琼 |
| 地址： | 433000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 导轮 导向轮 转轴 导向滚轮装置 制绒机 多晶 链式 电机 套接 外壁 本实用新型 输出轴连接 输出轴旋转 带动转轴 导向滚轮 硅片放置 间隙位置 启动电机 向前移动 左右两侧 接触点 产能 加宽 缺角 左端 轴承 转动 合格率 传递 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶链式制绒机硅片导向滚轮装置，包括电机(1)，其特征在于：所述电机(1)的左侧输出轴连接有转轴(2)，所述转轴(2)的外壁左端套接有轴承(3)，所述转轴(2)的外壁均匀套接有导向轮(4)，所述导向轮(4)的左右两侧均连接有导轮(5)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶链式制绒机硅片导向滚轮装置，其特征在于：所述导向轮(4)和导轮(5)分别为硅胶导向轮和硅胶导轮。
3.根据权利要求1所述的一种多晶链式制绒机硅片导向滚轮装置，其特征在于：两组所述导轮(5)大小相同。
4.根据权利要求1所述的一种多晶链式制绒机硅片导向滚轮装置，其特征在于：所述导轮(5)的长度与导向轮(4)的长度相同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北天合光能有限公司，未经湖北天合光能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820360417.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：气帘装置及晶圆盒载运设备
- 下一篇：一种硅片清洗用周转盘
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
