[实用新型]一种环保的全自动插片清洗一体机有效
| 申请号： | 201820171574.9 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN208111403U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 邱德民 | 申请（专利权）人： | 天津创昱达科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14 |
| 代理公司： | 天津盈佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12224 | 代理人： | 张淑华 |
| 地址： | 300000 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送带 上侧壁 底板 清洗槽 清洗 本实用新型 插片盒 储水槽 一体机 硅片 插片 隔板 环保 导向装置 工作效率 过滤循环 人工搬运 自动插片 自动清洗 插片槽 气缸 水泵 | ||
1.一种环保的全自动插片清洗一体机，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上侧壁设有第一传送带(2)和第二传送带(3)，所述第一传送带(2)位于第二传送带(3)的正上方，所述第一传送带(2)的上侧壁依次设有多个硅片(4)，所述第一传送带(2)靠近第二传送带(3)的一侧设有导向装置(5)，所述第二传送带(3)的上侧壁设有多个插片盒(6)，每个所述插片盒(6)的上侧壁均开设有多个插片槽，所述底板(1)的上侧壁设有清洗槽(7)，所述清洗槽(7)的内部设有隔板(8)，所述清洗槽(7)的内底部设有第一气缸(9)和两个储水槽(11)，每个所述储水槽(11)的内底部均设有水泵(12)，所述清洗槽(7)的上侧壁设有两个固定板，每个所述水泵(12)的输出端均连接有输水管(13)，每个所述输水管(13)远离水泵(12)的一端均贯穿储水槽(11)和清洗槽(7)的内壁延伸至清洗槽(7)的外部并插设在固定板上，每个所述输水管(13)的末端均连接有喷头(14)，所述第一气缸(9)的驱动端贯穿隔板(8)并连接有托盘(10)。
2.根据权利要求1所述的一种环保的全自动插片清洗一体机，其特征在于，所述插片槽与硅片(4)的大小相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种环保的全自动插片清洗一体机，其特征在于，所述托盘(10)位于第二传送带(3)远离第一传送带(2)的一侧。
4.根据权利要求1所述的一种环保的全自动插片清洗一体机，其特征在于，所述第一气缸(9)的驱动端与隔板(8)的连接处和每个输水管(13)与储水槽(11)的连接处均设有密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种环保的全自动插片清洗一体机，其特征在于，所述底板(1)的上侧壁还设有固定座(15)，所述固定座(15)内设有第二气缸(16)，所述第二气缸(16)的驱动端与清洗槽(7)的一侧侧壁固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种环保的全自动插片清洗一体机，其特征在于，所述隔板(8)的上开设有两个安装口，每个所述安装口内均装设有滤网(17)，每个所述滤网(17)分别位于储水槽(11)的正上方。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
