[实用新型]一种N型异质结双面太阳能电池结构有效
申请号: | 201820135552.7 | 申请日: | 2018-01-23 |
公开(公告)号: | CN207967020U | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 屈小勇;董鹏;吴翔;杜喜霞;张婷 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团西安太阳能电力有限公司;国家电投集团西安太阳能电力有限公司西宁分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/0747 | 分类号: | H01L31/0747 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人: | 郭桂峰 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双面太阳能电池 本征非晶硅层 轻掺杂层 异质结 背面 表面钝化效果 本实用新型 本征非晶硅 均匀性要求 电池背面 电池结构 钝化膜层 工艺制作 窗口层 负电极 正电极 | ||
本实用新型公开了一种N型异质结双面太阳能电池结构,包括:N型硅片基体;依次形成在N型硅片基体的正面的n+轻掺杂层、正面本征非晶硅层、N型掺杂非晶硅层、正面TCO薄膜;引出于N型掺杂非晶硅层的负电极;依次形成在N型硅片基体背面的背面本征非晶硅层、P型掺杂非晶硅层、背面TCO薄膜;引出于P型掺杂非晶硅层的正电极。该电池结构通过在N型硅片基体的正面形成n+轻掺杂层后,可以降低对正面本征非晶硅钝化膜层厚度的均匀性要求,大幅降低工艺制作难度,易于获得良好的表面钝化效果;并且通过将P型掺杂非晶硅层转移到电池背面,解决了现有技术中P型掺杂非晶硅层不利于用作太阳电池正面的窗口层的问题。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种N型异质结双面太阳能电池结构。
背景技术
太阳能光伏发电因其清洁、安全、便利、高效等特点,已成为世界各国普遍关注和重点发展的新兴产业。因此,深入研究和利用太阳能资源,对缓解资源危机、改善生态环境具有十分重要的意义。
在各种太阳能电池中,N型异质结电池技术工艺步骤相对简单、无光致衰减、无电位诱导衰减、温度系数低,兼具超高的电池转换效率和双面发电性能,是当今国际研究和产业化的前沿。
以常规N型异质结电池为例,如图1所示,N型异质结双面电池的基本结构包括:N型硅片基体100,硅片基体100的正表面由内到外依次是本征非晶硅层101、P型掺杂非晶硅层102、TCO层103及正电极105;硅片基体的背面由内到外依次是本征非晶硅层101、N型非晶硅掺杂层104、TCO层103及负电极106。
常规制作N型异质结双面电池的工艺流程大致为:清洗制绒-正面非晶(i/P)沉积-背面非晶(i/N)沉积-双面沉积导电氧化层(TCO)-电极印刷&固化-测试&分选。
以上是制作N型异质结双面电池的典型工艺步骤,目前只有日本松下非常好的掌握了N型异质结双面电池的制备工艺,其电池最高转换效率达到了24.7%。其它厂商例如上澎、晋能、梅耶博格等虽然进行长时间工艺研究,但是效率都在22%左右,主要原因是本征非晶硅和掺杂非晶硅沉积工艺是异质结最关键的核心工艺,为了实现对硅基体表面良好的钝化并减少非晶硅层光学吸收,本征非晶硅层和掺杂非晶硅层的厚度一般在5nm-10nm范围,且要求厚度必须非常均匀。这样本征非晶硅层和掺杂非晶硅层生长的工艺窗口非常窄,工艺难度大,多数厂家很难实现。此外,重掺硼所形成的杂质带与价带边相连,使有效带隙宽度降低,这样P型掺杂非晶硅层的光吸收增加,不利于用作太阳电池正面的窗口层。这些限制了电池效率的进一步提高,影响了N型异质结双面电池的发展。
因此,有必要对N型异质结双面电池进行改进。
实用新型内容
本实用新型提出了一种N型异质结双面太阳能电池结构,以提高N型异质结双面太阳能电池的转换效率。
为了解决上述问题,本实用新型提供如下技术方案:
一种N型异质结双面太阳能电池结构,包括:
N型硅片基体;
n+轻掺杂层,形成在所述N型硅片基体的正面;
正面本征非晶硅层,形成在所述n+轻掺杂层上;
N型掺杂非晶硅层,形成在所述本征非晶硅层上;
正面TCO薄膜,形成在所述N型掺杂非晶硅层上;
负电极,引出于所述N型掺杂非晶硅层;
背面本征非晶硅层,形成在所述N型硅片基体的背面;
P型掺杂非晶硅层,形成在所述背面本征非晶硅层上;
背面TCO薄膜,形成在所述P型掺杂非晶硅层上;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的