[实用新型]一种氢化物气相外延反应镓舟结构有效
| 申请号： | 201820091707.1 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN207877925U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李成明;黄业;刘鹏;张国义 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镓源 导流壁 盛放部 导流体 氢化物气相外延 本实用新型 液面 进气口 氯化氢气体 表面气体 流通通道 气体导流 气体发生 出气口 氯化镓 侧壁 交错 流动 | ||
【权利要求书】：
1.一种氢化物气相外延反应镓舟结构，包括镓源盛放部，其特征在于，所述镓源盛放部内设有导流壁，该导流壁与镓源盛放部的侧壁之间形成有进气口和出气口，导流壁位于镓源盛放部内的液面上方。
2.根据权利要求1所述的氢化物气相外延反应镓舟结构，其特征在于，所述导流壁与镓源盛放部内的液面之间设有导流体，导流壁与导流体之间具有通道，导流体与镓源盛放部内的液面之间具有流通通道。
3.根据权利要求2所述的氢化物气相外延反应镓舟结构，其特征在于，所述导流壁为直线型、规则曲线型或者不规则曲线型结构。
4.根据权利要求3所述的氢化物气相外延反应镓舟结构，其特征在于，所述导流体呈规则形状或者不规则形状。
5.根据权利要求4所述的氢化物气相外延反应镓舟结构，其特征在于，所述导流壁与导流体位于镓源盛放部的相同位置或者不同位置。
6.根据权利要求5所述的氢化物气相外延反应镓舟结构，其特征在于，所述导流壁和导流体位于镓源盛放部的中心位置或者边缘位置。
7.根据权利要求6所述的氢化物气相外延反应镓舟结构，其特征在于，所述导流壁、导流体以及镓源盛放部的制备材料相同或不同。
8.根据权利要求7所述的氢化物气相外延反应镓舟结构，其特征在于，所述导流壁与导流体的表面可以为光面或毛面。
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