[发明专利]X射线探测单元、探测器及探测系统有效
申请号: | 201811345584.0 | 申请日: | 2018-11-13 |
公开(公告)号: | CN109524428B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 金利波 | 申请(专利权)人: | 上海奕瑞光电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201201 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 探测 单元 探测器 系统 | ||
本发明提供一种X射线探测单元、探测器及探测系统,X射线探测单元包括:首尾相接形成闭合区域的转换材料层、光电二极管像素及反射层,转换材料层的面积大于光电二极管像素的面积。若干X射线探测单元一维线阵排布形成X射线探测器。X射线探测器,射线源及传送装置构成X射线探测系统,X射线探测器与射线源相对设置,传送装置设置于X射线探测器及所述射线源之间;通过传送装置的移动,X射线探测器对被检测物进行多次一维检测,进而获得检测物的二维检测图像。本发明将转换材料层及光电二极管像素设置在不同维度,以此避免光电二极管像素面积对转换材料层面积的影响,通过增大转换材料层面积提高转换效率同时提高信噪比。
技术领域
本发明涉及一种X射线探测领域,特别是涉及一种X射线探测单元、探测器及探测系统。
背景技术
X射线探测器经历了百年的发展,由传统的胶片式逐渐发展至当今的数字式,这其中又经历了CR探测器、CCD X射线探测器、CCD拼接式X射线探测器以及目前最为主流的X射线平板探测器。X射线平板探测器可以捕获X光,将被测物体的X射线影像转变为数字图像以便于查看、分析、存储以及传播,其被广泛应用于安检、医疗、生物、材料和工业检测等领域。
一维线阵探测器是X射线探测器中的一种,长度通常为数十厘米至数米,像素尺寸通常为零点几至数毫米,像素数目包括数百至千万个。如图1~图2所示,现有的一维探测器结构1包括:基板10;形成于所述基板10上的光电二极管像素11,各光电二极管像素排列成一维线阵;以及位于所述一维线阵上方的转换材料层12。其基本工作原理是,X射线照射到所述转换材料层12上,所述转换材料层12将X射线转换为可见光,可见光照射到所述光电二极管像素11上,光电二极管将可见光转换为光电子,光电子经过放大电路(图中未显示)转化为电压信号并进行模数转换后传至计算机形成数字图像。
为了便于探测,我们需要获得更大的信号量,一种方式是将所述光电二极管像素11的面积增大(像素入射信号量与像素面积成正比),但与此同时像素面积越大,噪声也越大。在这种像素模型中,噪声的主要来源为光电二极管的电容开关噪声σpd-KTC=sqrt(2KTCpd),这不利于提高信噪比。
另外,X射线照射到所述转换材料层12(闪烁体)后,产生可见光,可见光需要穿过所述转换材料层12才能照射到所述光电二极管像素11上。一般闪烁体的厚度,对工业百kV级射线吸收少,闪烁体厚度为0.5mm时对100keV射线吸收仅约60%,信号量小。但如果增加闪烁体厚度以吸收更多X射线,则由于可见光需要穿过更厚的闪烁体,闪烁体本身吸收可见光,导致对转换效率贡献小。
因此,如何提高X射线探测器的信噪比、提高转换效率已成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种X射线探测单元,用于解决现有技术中信噪比低、转换效率低等问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种X射线探测单元,所述X射线探测单元至少包括:
转换材料层、光电二极管像素及反射层;
其中,所述转换材料层、所述光电二极管像素及所述反射层首尾相接,形成闭合区域,且所述转换材料层的面积大于所述光电二极管像素的面积。
可选地,所述转换材料层的材质为碘化铯或硫氧化钆。
可选地,所述光电二极管像素与所述转换材料层的夹角设定为(0,90°]。
可选地,所述反射层为平面或朝向所述X射线探测单元内部的弧面。
可选地,所述转换材料层的面积不小于所述光电二极管像素的面积的1.5倍。
更可选地,所述反射层朝向于所述X射线探测单元内部的表面为镜面。
更可选地,所述反射层的材质为碘化铯或硫氧化钆。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的