[发明专利]X射线探测单元、探测器及探测系统有效

专利信息
申请号: 201811345584.0 申请日: 2018-11-13
公开(公告)号: CN109524428B 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 金利波 申请(专利权)人: 上海奕瑞光电子科技股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 余明伟
地址: 201201 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 射线 探测 单元 探测器 系统
【说明书】:

发明提供一种X射线探测单元、探测器及探测系统,X射线探测单元包括:首尾相接形成闭合区域的转换材料层、光电二极管像素及反射层,转换材料层的面积大于光电二极管像素的面积。若干X射线探测单元一维线阵排布形成X射线探测器。X射线探测器,射线源及传送装置构成X射线探测系统,X射线探测器与射线源相对设置,传送装置设置于X射线探测器及所述射线源之间;通过传送装置的移动,X射线探测器对被检测物进行多次一维检测,进而获得检测物的二维检测图像。本发明将转换材料层及光电二极管像素设置在不同维度,以此避免光电二极管像素面积对转换材料层面积的影响,通过增大转换材料层面积提高转换效率同时提高信噪比。

技术领域

本发明涉及一种X射线探测领域,特别是涉及一种X射线探测单元、探测器及探测系统。

背景技术

X射线探测器经历了百年的发展,由传统的胶片式逐渐发展至当今的数字式,这其中又经历了CR探测器、CCD X射线探测器、CCD拼接式X射线探测器以及目前最为主流的X射线平板探测器。X射线平板探测器可以捕获X光,将被测物体的X射线影像转变为数字图像以便于查看、分析、存储以及传播,其被广泛应用于安检、医疗、生物、材料和工业检测等领域。

一维线阵探测器是X射线探测器中的一种,长度通常为数十厘米至数米,像素尺寸通常为零点几至数毫米,像素数目包括数百至千万个。如图1~图2所示,现有的一维探测器结构1包括:基板10;形成于所述基板10上的光电二极管像素11,各光电二极管像素排列成一维线阵;以及位于所述一维线阵上方的转换材料层12。其基本工作原理是,X射线照射到所述转换材料层12上,所述转换材料层12将X射线转换为可见光,可见光照射到所述光电二极管像素11上,光电二极管将可见光转换为光电子,光电子经过放大电路(图中未显示)转化为电压信号并进行模数转换后传至计算机形成数字图像。

为了便于探测,我们需要获得更大的信号量,一种方式是将所述光电二极管像素11的面积增大(像素入射信号量与像素面积成正比),但与此同时像素面积越大,噪声也越大。在这种像素模型中,噪声的主要来源为光电二极管的电容开关噪声σpd-KTC=sqrt(2KTCpd),这不利于提高信噪比。

另外,X射线照射到所述转换材料层12(闪烁体)后,产生可见光,可见光需要穿过所述转换材料层12才能照射到所述光电二极管像素11上。一般闪烁体的厚度,对工业百kV级射线吸收少,闪烁体厚度为0.5mm时对100keV射线吸收仅约60%,信号量小。但如果增加闪烁体厚度以吸收更多X射线,则由于可见光需要穿过更厚的闪烁体,闪烁体本身吸收可见光,导致对转换效率贡献小。

因此,如何提高X射线探测器的信噪比、提高转换效率已成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种X射线探测单元,用于解决现有技术中信噪比低、转换效率低等问题。

为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种X射线探测单元,所述X射线探测单元至少包括:

转换材料层、光电二极管像素及反射层;

其中,所述转换材料层、所述光电二极管像素及所述反射层首尾相接,形成闭合区域,且所述转换材料层的面积大于所述光电二极管像素的面积。

可选地,所述转换材料层的材质为碘化铯或硫氧化钆。

可选地,所述光电二极管像素与所述转换材料层的夹角设定为(0,90°]。

可选地,所述反射层为平面或朝向所述X射线探测单元内部的弧面。

可选地,所述转换材料层的面积不小于所述光电二极管像素的面积的1.5倍。

更可选地,所述反射层朝向于所述X射线探测单元内部的表面为镜面。

更可选地,所述反射层的材质为碘化铯或硫氧化钆。

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