[发明专利]显示背板及其制作方法和显示装置

说明书

本发明提供了显示背板及其制作方法和显示装置。所述显示背板包括多个像素单元，每个所述像素单元包括驱动薄膜晶体管和开关薄膜晶体管，所述驱动薄膜晶体管中的第一栅绝缘层的厚度等于所述开关薄膜晶体管的第二栅绝缘层的厚度，且所述驱动薄膜晶体管的第一栅绝缘层的介电常数小于所述开关薄膜晶体管的第二栅绝缘层的介电常数。由此，在该显示背板中，驱动薄膜晶体管具有较小的栅极电容，较大的亚阈值摆幅，更有利于该显示背板实现不同灰阶电压的设置，以便更好的控制不同灰阶的显示，和/或开关薄膜晶体管具有较大的栅极电容，较小的亚阈值摆幅，有利于降低电路工作电压以及提高电路工作速度。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体的，涉及显示背板及其制作方法和显示装置。

背景技术

OLED器件的基本结构是由一薄而透明具半导体特性的正极铟锡氧化物(ITO)、一个金属阴极和发光层包成如三明治的结构，发光层包括：空穴传输层(HTL)、发光层(EL)与电子传输层(ETL)。当给正极和负极施加一定电压，发光层就会产生光亮，并依其配方不同产生红(R)、绿(G)和蓝(B)三基色，构成基本色彩。OLED器件的特性是自己发光，不像TFTLCD需要背光，因此可视度和亮度均高，其次是电压需求低且省电效率高，加上反应快、重量轻、厚度薄，构造简单，成本低等，被视为21世纪最具前途的产品之一。但是，在OLED器件的显示背板结构的设计上仍有许多不足之处，仍需进一步改进，以此来提高OLED器件的显示效果。

因此，关于显示背板的研究有待深入。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种显示背板，该显示背板更有利于实现不同灰阶电压的设置，以便更好的控制不同灰阶的显示，或者降低电路工作电压以及提高电路工作速度。

在本发明的一个方面，本发明提供了一种显示背板。根据本发明的实施例，所述显示背板包括多个像素单元，每个所述像素单元包括驱动薄膜晶体管和开关薄膜晶体管，所述驱动薄膜晶体管中的第一栅绝缘层的厚度等于所述开关薄膜晶体管的第二栅绝缘层的厚度，且所述驱动薄膜晶体管的第一栅绝缘层的介电常数小于所述开关薄膜晶体管的第二栅绝缘层的介电常数。由此，在该显示背板中，驱动薄膜晶体管具有较小的栅极电容，较大的亚阈值摆幅，更有利于该显示背板实现不同灰阶电压的设置，以便更好的控制不同灰阶的显示，和/或开关薄膜晶体管具有较大的栅极电容，较小的亚阈值摆幅，有利于降低电路工作电压以及提高电路工作速度。

根据本发明的实施例，所述第一栅绝缘层为一层或多层；所述第二栅绝缘层为一层或多层。

根据本发明的实施例，形成所述第一栅绝缘层的材料选自氮化硅和氧化硅中的至少一种，形成所述第二栅绝缘层的材料选自氮化硅和氧化硅中的至少一种。

根据本发明的实施例，所述第一栅绝缘层为一层，所述第二栅极绝缘层为两层，所述第一栅极绝缘层和所述第二栅绝缘层的下层同工艺形成，所述第二栅绝缘层的上层位于所述第二栅绝缘层的下层的第一凹槽内，并与所述第一栅极绝缘层上表面平齐。。

根据本发明的实施例，所述第一栅绝缘层为一层，所述第二栅绝缘层为一层，其中，所述第二栅绝缘层包括基体相和分散在所述基体相中的分散相，其中，所述基体相和所述分散相中一个由氧化硅形成，另一个由氮化硅形成。

根据本发明的实施例，所述第二栅绝缘层为一层，所述第一栅绝缘层为两层，所述第二栅绝缘层和所述第一栅绝缘层的下层同工艺形成，所述第一栅绝缘层的上层位于所述第一栅绝缘层的下层的第二凹槽内，并与所述第二栅绝缘层上表面齐平。

根据本发明的实施例，所述第一栅绝缘层为两层，所述第二栅绝缘层为两层，所述第一栅绝缘层的下层与所述第二栅绝缘层的下层同工艺形成，所述第一栅绝缘层的上层位于所述第一栅绝缘层的下层的第三凹槽内，所述第二栅绝缘层的上层位于所述第二栅绝缘层的下层的第四凹槽内。