[发明专利]一种硅片清洗设备

权利要求书

1.一种硅片清洗设备，包括：

两运输装置，两运输装置上下平行；

一传送装置，所述传送装置位于所述运输装置右侧；

一清洗装置，所述清洗装置位于所述传送装置下侧；

一干燥装置，所述干燥装置位于所述传送装置右侧，

所述运输装置包括：

一固定杆，所述固定杆位于所述运输装置左端；

一运输带，所述运输带左端与所述固定杆连接；

一夹持器，所述夹持器与所述运输带连接，随运输带左右移动；

一转动电机，所述转动电机与所述运输带右端连接；

所述传送装置包括三传送带，所述三传送带互相平行，并列传送，每条传送带上均设有四个机械手，每条传送带边缘均被金属稳定片包裹；三传送电机，所述三传送电机为传送电机一、传送电机二、传送电机三，所述三传送电机分别位于所述三传送带内，用于给所述三传送带提供动力；

所述三传送电机的转叶设有缺口；每条传送带上的四个所述机械手外侧对应与一条或两条或三条传送带连接，所述机械手随传送带一或传送带二或传送带三的运动而移动，所述机械手分布在不同的位置，所述机械手包括一机械臂，机械臂内设有旋转电机一；

所述传送电机一位于传送带一内，用于控制传送带二的运转；所述传送电机二和所述传送电机三位于传送带二内，用于分别控制传送带一和传送带三的运转，所述三传送带同时工作互不影响，每条传送带分别控制一组硅片的自动清洗、干燥。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗设备，其中，所述夹持器包括

一夹持电机，所述夹持电机上端嵌入所述运输带内，下端设有螺纹杆；

两夹持板，所述夹持板为T字形，呈上下平行分布，所述两夹持板上均设有螺纹孔；

一挡板，所述挡板为U字形，两端与所述运输带连接，将所述两夹持板保护在内侧。

3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗设备，其中，所述夹持电机底部设有一挡块，所述挡块与所述挡板连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗设备，其中，所述清洗装置包括

一底座，所述底座上设有一环带，所述环带上设有多个清洗单元，所述清洗单元包括

一硅片接收器，所述硅片接收器为V字形，中间有一卡槽；

一升降杆，所述升降杆上端与所述硅片接收器连接；

一升降电机，所述升降电机与升降杆下端连接，位于清洗液中。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗设备，其中，所述干燥装置包括多个干燥单元，所述干燥单元包括一硅片干燥台，所述硅片干燥台为圆形，与硅片的规格相适应；所述硅片干燥台内部设有一加热板，底部设有一旋转电机二。

6.根据权利要求5所述的一种硅片清洗设备，其中，所述硅片干燥台外沿上设有两个硅片压紧器和一个硅片旋转压紧器；所述硅片旋转压紧器下方的所述硅片干燥台侧边设有一孔槽，所述硅片旋转压紧器穿过孔槽与所述旋转电机二连接。

7.一种根据权利要求2所述的硅片清洗设备的清洗方法，包括以下步骤：

1)硅片放置在运输装置中的两夹持板中间，夹持器夹持硅片，向右运输；

2)传送装置中的机械手夹住硅片，向下传送到清洗装置处；

3)清洗装置清洗硅片，循环一圈后再次被机械手夹住，向右上方传送到干燥装置处；

4)干燥装置干燥硅片，完成后再次被机械手夹住，传送至下一工位。