[发明专利]一种诱导铁酸铋薄膜相变的方法在审

专利信息
申请号: 201810789219.2 申请日: 2018-07-18
公开(公告)号: CN109208069A 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 陈德杨;邓雄;陈超;孙菲;高兴森 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: C30B23/02 分类号: C30B23/02;C30B29/22;C23C14/28;C23C14/08
代理公司: 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 代理人: 吴静芝
地址: 510006 广东省广州市番禺区外*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 诱导 晶格失配度 铁酸铋薄膜 单晶薄膜 外延生长 薄膜 必要条件
【说明书】:

发明涉及一种诱导铁酸铋薄膜相变的方法,通过在BFO和基片之间插入一层外延生长的单晶薄膜作为应变的提供者,该单晶薄膜与BFO薄膜的晶格失配度范围为‑4%~‑6%,满足诱导BFO由R相转变为T相的必要条件,从而突破了对于基片的限制,在与BFO晶格失配度较小的基片上也能实现BFO的R‑T相变。

技术领域

本发明涉及铁酸铋相变领域,特别是涉及一种诱导铁酸铋薄膜相变的方法。

背景技术

应变作为诱导铁酸铋BiFeO3(简写为BFO)相变的重要途经之一,得到广泛的应用,目前利用应变诱导相变的方法主要是通过在单晶基片上沉积BFO薄膜,基片会使BFO薄膜产生一定的应变,从而诱导相变。

目前应用较多的基片铝酸镧LaAlO3(001)的晶格常数为0.3792nm,基态为菱形相(R相)的BFO的晶格常数为0.3964nm,两者的晶格失配度为-4.3%。所以当BFO在LaAlO3(简写为LAO)上外延生长时,理论上LAO会对BFO产生4.3%的压应变,BFO在压应变的作用下发生R-T相变,获得四方相(T相)的BFO薄膜。另一种应用较多的基片铝酸钇YAlO3(110)的晶格常数为0.369nm,其与BFO的晶格失配度为-6.9%,在YAlO3(简写为YAO)上生长BFO也能够得到纯T相。

现有的诱导BFO相变的重要途径是通过基片对BFO施加压应变,使BFO在较大的压应变(>4%)条件下得到四方相(T相)。只有与BFO薄膜晶格失配度较大的基片才能提供足够大的应变来诱导相变。对于与BFO晶格失配度较小的基片,比如钛酸锶SrTiO3(001),其晶格参数为0.3905nm,SrTiO3(简写为STO)与BFO的晶格失配度只有-1.4%。又如铝酸锶钽镧(La,Sr)(Al,Ta)O3(001),其晶格参数为0.3868nm,(La,Sr)(Al,Ta)O3(简写为LAST)与BFO的晶格失配度是-1.7%。因为与BFO的晶格失配度小,在这类基片上生长高质量BFO外延薄膜得到的是R相或类R相,难以得到高质量外延生长的T相BFO薄膜。现有的通过基片对BFO薄膜施加压应变的方法,基片与BFO的晶格失配度决定了薄膜理论上能达到的最大应变,而对于特定的薄膜符合条件的基片类型有限,因此这种方法有一定的局限性。

发明内容

基于此,本发明的目的在于,提供一种诱导铁酸铋薄膜相变的方法,可以在与BFO晶格失配度较小的基片上实现BFO的R-T相变。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的:一种诱导铁酸铋薄膜相变的方法,包括以下步骤:

S1:在基片上制备一层单晶薄膜;所述单晶薄膜与铁酸铋薄膜的晶格失配度范围为-4%~-6%;

S2:在所述单晶薄膜上制备铁酸铋薄膜。

相对于现有技术,本发明提供了一种诱导BFO相变的普适性方法,通过在BFO和基片之间插入一层外延生长的单晶薄膜作为应变的提供者,该单晶薄膜与BFO薄膜的晶格失配度范围为-4%~-6%,满足诱导BFO由R相转变为T相的必要条件,从而突破了对于基片的限制,在与BFO晶格失配度较小的基片上也能实现BFO的R-T相变。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南师范大学,未经华南师范大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810789219.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top