[发明专利]一种基板双面塑封制程方法有效
申请号: | 201810653713.6 | 申请日: | 2018-06-22 |
公开(公告)号: | CN109003906B | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 何正鸿;黄浈;柳燕华;花竹和 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 赵海波;孙燕波 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 塑封 方法 | ||
本发明涉及一种基板双面塑封制程方法,它包括以下步骤:步骤一、在基板背面植球;步骤二、在基板背面进行芯片装片、打线;步骤三、在基板正面进行芯片装片、打线;步骤四、上模组上设置有多个上模组伸缩凸块,下模组上设置有多个下模组伸缩凸块,将完成步骤三的基板放置在下模组上,上模组和下模组合模,基板位于上模组伸缩凸块和下模组伸缩凸块之间;步骤五、完成注塑后,上模组伸缩凸块和下模组伸缩凸块收缩,打开上模组,取出包封产品;步骤六、将包封产品周围残留的塑封胶去除,完成基板双面包封制程。本发明一种基板双面塑封制程方法,它能够通过控制伸缩凸块的长度实现基板的双面一次完成塑封,且可以保证基板正面与背面的塑封体的厚度不同,可以提高塑封效率,减少基板翘曲。
技术领域
本发明涉及一种基板双面塑封制程方法,属于半导体封装技术领域。
背景技术
传统双面包封工艺基本制作方法如下(如图1所示):
先进行基板正面芯片装片、打线后,再根据基板正面塑封体2的厚度选择对应的模腔进行塑封,完成基板正面塑封,再进行基板背面植球工艺,通过回流固化锡球3后,此时进行基板背面芯片装片、打线后,再次根据背面塑封体1的厚度选择对应模腔进行背面塑封,完成基板双面包封工艺。
上述传统工艺方法的缺点:传统双面包封工艺由于基板正面塑封体与背面塑封体存在模腔的厚度不同,需要进行单独包封,影响基板包封效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种基板双面塑封制程方法,它能够通过控制伸缩凸块的长度实现基板的双面一次完成塑封,且可以保证基板正面与背面的塑封体的厚度不同,可以提高塑封效率,减少基板翘曲。
本发明解决上述问题所采用的技术方案为:一种基板双面塑封制程方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:
步骤一、在基板背面植球;
步骤二、在基板背面进行芯片装片、打线;
步骤三、在基板正面进行芯片装片、打线;
步骤四、上模组上设置有多个上模组伸缩凸块,下模组上设置有多个下模组伸缩凸块,将完成步骤三的基板放置在下模组上,上模组和下模组合模,基板位于上模组伸缩凸块和下模组伸缩凸块之间,通过气压调节上模组伸缩凸块和下模组伸缩凸块高度,然后进行注塑包封;
步骤五、完成注塑后,上模组伸缩凸块和下模组伸缩凸块收缩,打开上模组,取出产品;
步骤六、将包封产品周围残留的塑封胶去除,完成基板双面包封制程。
优选的,上模组和下模组上均设置有横向活动轨道和纵向活动轨道,上模组伸缩凸块和下模组伸缩凸块分别位于上模组和下模组上横向活动轨道和纵向活动轨道内。
优选的,上模组伸缩凸块和下模组伸缩凸块的位置对应于基板的切割道。
优选的,上模组伸缩凸块的高度和下模组伸缩凸块的高度可以自由调节。
优选的,上模组伸缩凸块和下模组伸缩凸块连接空气压缩装置,通过气压控制伸长和缩短。
优选的,下模组上设置有下模组挖槽。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
本发明一种基板双面塑封制程方法,其上下模组都设有伸缩凸块,通过控制伸缩凸块高度,可以调节基板正面和背面的塑封体的高度,基板双面一次包封完成,另外由于每个基板的单颗产品的切割道上都分布伸缩凸块,可以减少塑封料的收缩率,减少基板包封中产生的翘曲问题。
附图说明
图1为传统双面包封工艺方法的示意图。
图2为本发明一种基板双面塑封制程方法的示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造