[发明专利]分选机吸头工作位精确校准方法

权利要求书

1.分选机吸头工作位精确校准方法，其特征在于：布置具有高倍放大功能的相机采集一排多个吸头的图像，根据相机中图像获取吸头在相机中的坐标，具体包括以下步骤：

（1）、获取吸头P1位于相机中心时电机的位置坐标（X0，Y0）：

通过调整机械手X轴方向直线电机、机械手Y轴方向直线电机，将一排多个空闲的吸头中第一个吸头P1的中心与相机中心位置重合，并记录吸头P1位置坐标为（X0，Y0）；

（2）、获取吸头在阵列台工作位置，包括以下步骤：

（2.1）、通过调整机械手X轴方向直线电机、机械手Y轴方向直线电机，使吸头P1吸取阵列台凹槽中的芯片，并记录吸头P1此时的位置坐标（X1，Y1）；

（2.2）、通过调整机械手X轴方向直线电机、机械手Y轴方向直线电机，使吸头P1移动至位置坐标（X0，Y0），并记录相机中心与芯片中心间的偏差量△x与△y；

（2.3）、将芯片按照上次吸取位置重新放入阵列台凹槽中，再在上次吸取位置基础上通过机械手X轴方向直线电机使吸头P1移动△x1位移、通过机械手Y轴方向直线电机使吸头P1移动△y1偏差量，重新吸取芯片，按步骤（2.2），再次获得相机中心与芯片中心的偏差为△x2与△y2；

（2.4）、判断步骤（2.3）得到的偏差△x2与△y2值是否小于规定误差值，如果小于规定误差值，当前吸取位置为最终获取的吸取位置；如果不小于规定误差值，则重复步骤（2.3），直到偏差△x2与△y2小于规定误差值，最终获得吸头吸取位置；

步骤（1）具体过程是首先将相机中心用十字标出，然后通过相机获取一排多个空闲的吸头中第一个吸头P1的图像，并求出吸头P1的中心位置后用十字标出，通过调整机械手X轴方向直线电机、机械手Y轴方向直线电机将相机中心的十字和吸头P1的十字重合，此时机械手X轴方向直线电机的位置坐标即为X0，机械手Y轴方向直线电机的位置坐标即为Y0，即吸头P1位于相机中心时的位置坐标（X0，Y0）。

2.根据权利要求1所述的分选机吸头工作位精确校准方法，其特征在于：步骤（2.1）过程如下：

A、将芯片放入阵列台凹槽中；

B、通过机械手X轴方向直线电机、机械手Y轴方向直线电机，将吸头P1移动至基本对准阵列台凹槽的位置；此位置通过相机的图像反复调整得到最终准确位置；

C、使吸头P1下降至吸取芯片的工作位置，打开吸头P1真空阀吸取阵列台凹槽中的芯片；

D、记录吸头P1坐标为（X1，Y1），此时剥离机械手X轴直线电机的位置坐标即为X1，剥离机械手Y轴直线电机的位置坐标即为Y1。