[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示装置在审
| 申请号: | 201810344260.9 | 申请日: | 2018-04-17 |
| 公开(公告)号: | CN110061058A | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
| 发明(设计)人: | 张正东;杨小飞;郭明周;苏磊;周刚 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王晓燕 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 衬底基板 导电图案 绝缘层 保护图案 连接电极 阵列基板 显示装置 正投影 制备 不良现象 电连接 腐蚀 | ||
一种阵列基板及其制备方法、显示装置。该阵列基板包括:衬底基板;第一导电图案,设置在所述衬底基板上;绝缘层,设置在所述第一导电图案的远离所述衬底基板的一侧,并且所述绝缘层中具有过孔;第二导电图案,设置在所述绝缘层的远离所述衬底基板的一侧;连接电极,设置在所述绝缘层的所述过孔中,所述连接电极电连接所述第二导电图案和所述第一导电图案;保护图案,设置在所述连接电极的远离所述衬底基板的一侧;其中,所述保护图案在所述衬底基板上的正投影与所述过孔在所述衬底基板上的正投影至少部分重叠。该保护图案可以防止位于过孔下方的第一导电图案发生腐蚀等不良现象。
技术领域
本公开的实施例涉及一种阵列基板及其制备方法、显示装置。
背景技术
目前,用于液晶显示面板、有机发光显示面板等显示面板的阵列基板通常需要经过多次构图工艺形成。例如,采用构图工艺在显示面板的显示区形成具有开关功能的薄膜晶体管,在显示面板的周边区域形成连接显示区功能元件与周边区驱动电路的走线等等。在制备过程中,增加一个功能层可能会增加一次构图工艺,使阵列基板的制备工艺变得复杂。
发明内容
本公开至少一实施例提供一种阵列基板,该阵列基板包括:衬底基板;第一导电图案,设置在所述衬底基板上;绝缘层,设置在所述第一导电图案的远离所述衬底基板的一侧,并且所述绝缘层中具有过孔;第二导电图案,设置在所述绝缘层的远离所述衬底基板的一侧;连接电极,设置在所述绝缘层的所述过孔中,所述连接电极电连接所述第二导电图案和所述第一导电图案;保护图案,设置在所述连接电极的远离所述衬底基板的一侧;其中,所述保护图案在所述衬底基板上的正投影与所述过孔在所述衬底基板上的正投影至少部分重叠。
例如,本公开至少一实施例提供的阵列基板中,所述保护图案为光刻胶图案。
例如,本公开至少一实施例提供的阵列基板中,所述阵列基板包括显示区和周边区;其中,所述第一导电图案、所述绝缘层、所述第二导电图案、所述连接电极和所述保护图案至少设置在所述周边区中。
例如,本公开至少一实施例提供的阵列基板中,所述第二导电图案与所述连接电极为一体结构。
例如,本公开至少一实施例提供的阵列基板中,所述周边区还包括柔性线路板或集成电路板;所述第二导电图案电连接所述柔性线路板或集成电路板。
例如,本公开至少一实施例提供的阵列基板中,所述显示区包括用于驱动所述显示区中的像素单元发光的驱动电极;所述驱动电极与所述连接电极同层设置。
例如,本公开至少一实施例提供的阵列基板中,所述显示区包括薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括栅极、源极和漏极;所述第一导电图案与所述栅极或源极或漏极同层设置并电连接。
例如,本公开至少一实施例提供的阵列基板中,所述保护图案的上表面与所述连接电极的上表面共面。
例如,本公开至少一实施例提供的阵列基板中,所述第二导电图案的上表面、所述连接电极的上表面和所述保护图案的上表面共面。
本公开至少一实施例提供一种阵列基板的制备方法,该制备方法包括:在衬底基板上形成第一导电图案;在所述第一导电图案的远离所述衬底基板的一侧形成绝缘层,并在所述绝缘层中形成过孔;在所述绝缘层的远离所述衬底基板的一侧形成第二导电图案;形成连接电极,所述连接电极形成在所述过孔中以将所述第二导电图案与所述第一导电图案电连接;在所述连接电极的远离所述衬底基板的一侧形成保护图案;其中,所述保护图案在所述衬底基板上的正投影与所述过孔在所述衬底基板上的正投影至少部分重叠。
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