[发明专利]搬运装置

说明书

本发明公开了一种搬运装置，搬运装置包括机台、多个定位单元和夹紧单元。机台用于承载工件，定位单元包括定位执行件和伸缩机构，定位执行件与机台连接，伸缩机构在电场或磁场作用下，在可自由伸缩的自由状态和被限制伸缩的自锁状态之间切换，伸缩机构与定位执行件可转动地相连，以在自锁状态下锁定定位执行件，夹紧单元适于夹紧工件。由此，通过搬运装置对工件进行支撑和定位，定位单元随着工件的放置而产生一定的位移以保证工件与定位单元始终保持贴合，之后借助夹紧单元夹紧工件。在搬运工件的过程中，工件被定位单元和夹紧单元快速、精确定位，有效避免转运过程中工件的晃动和损伤。当到达下一工位后，可以控制定位单元被快速解锁，方便快捷。

技术领域

本发明涉及半导体物流搬运技术领域，具体而言，涉及一种搬运装置。

背景技术

相关技术中，半导体工件在搬运装置上的定位方法：在搬运装置的机台的四个角分别固定两个圆柱形的塑料块作为限位装置；半导体工件的位置确定后之后，半导体工件的底边与限位装置之间的距离约为3mm。

这种半导体工件的传统定位方式有如下缺点：1)定位精度低；2)半导体工件与限位装置可以相对活动；3)搬运装置运动过程中半导体工件振动较大；4)半导体工件取放时容易与限位装置发生摩擦，产生摩擦损耗；5)半导体工件在取放过程中容易发生较大振动。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种搬运装置，搬运装置定位精确，而且安全性较高。

根据本发明实施例的搬运装置包括：机台、定位单元以及夹紧单元，所述机台用于承载工件；所述定位单元包括定位执行件和伸缩机构，所述定位执行件与所述机台连接，所述伸缩机构被构造成：在电场或磁场作用下，在可自由伸缩的自由状态和被限制伸缩的自锁状态之间切换，所述伸缩机构与所述定位执行件可转动地相连，以在自锁状态下锁定所述定位执行件，所述夹紧单元适于夹紧工件。

根据本发明实施例的搬运装置，通过定位单元对半导体工件进行支撑和定位，定位单元随着工件的放置而产生一定的位移以保证工件与定位单元始终保持贴合，之后借助夹紧单元夹紧工件；当需要移动半导体工件至下一个工位上时，控制伸缩机构自锁以使定位单元锁定，此时工件被定位单元和夹紧单元快速、精确定位，有效避免了转运过程中工件的晃动和损伤。当到达下一工位后，就可以控制定位单元被快速解锁，方便快捷。

根据本发明实施例的一些实施例，所述定位单元还包括柔性外壳，所述柔性外壳包覆所述定位执行件和所述伸缩机构。

根据本发明实施例的一些实施例，所述定位执行件包括：底座，所述底座直接或间接固设于所述机台；顶座，所述伸缩机构夹在所述底座和所述顶座之间，每个所述伸缩机构的两端分别与所述顶座、所述底座可枢转地连接，所述顶座被构造成：可在所述伸缩机构处于自锁状态时被锁定、在所述伸缩机构处于自由状态时可至少相对于所述底座水平运动。

根据本发明实施例的一些实施例，所述底座与所述顶座还通过弹性复位件连接，所述弹性复位件适于带动所述顶座复位运动。

根据本发明实施例的一些实施例，所述伸缩机构的个数为多个，多个所述伸缩机构呈多边形分布，每个所述伸缩机构的两端分别与所述顶座、底座球面配合。

根据本发明实施例的一些实施例，相邻的所述伸缩机构的底端的间距均大于相邻的所述伸缩机构的顶端的间距；或者相邻的所述伸缩机构的底端的间距均小于相邻的所述伸缩机构的顶端的间距。

根据本发明实施例的一些实施例，所述伸缩机构内填充有磁流变液介质，所述伸缩机构在所述磁流变液介质转化为固态时切换至自锁状态、在所述磁流变液介质转化为液态时切换至自由状态。