[发明专利]彩色晶硅电池片的制备方法在审
申请号: | 201810264617.2 | 申请日: | 2018-03-28 |
公开(公告)号: | CN108470797A | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 黄标;彭彪 | 申请(专利权)人: | 东方环晟光伏(江苏)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 刘畅;徐冬涛 |
地址: | 214203 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶硅电池片 镀膜工艺 制备 电池片外观 工艺可控性 氨气流量 传统电池 硅烷流量 新型彩色 成品率 电池片 均匀性 硅氮 | ||
本发明公开了一种彩色晶硅电池片的制备方法,其特征在于它根据不同的工艺时间、硅烷流量和氨气流量的组合获得需要的电池片外观颜色。本发明提供的新型彩色电池片镀膜工艺,在传统电池工艺不增加工序,通过控制硅氮比和镀膜工艺时间,显著提高膜色的均匀性和一致性,工艺可控性、重复性及成品率得到大幅度的提高。
技术领域
本发明属于光伏技术领域,具体是涉及一种新型的晶硅太阳能彩色电池片的制作工艺。
背景技术
彩色太阳能电池板一方面能够吸收太阳光光谱中不同颜色太阳光的光能,因此其在工作的时候可以不用正对太阳。另一方面,彩色太阳能电池是采用了许多建筑师、营造商的要求,他们希望太阳能电池除了环保节能以外,也可以和他们的大楼、建筑有一完美结合。
目前采用调整镀膜工艺时间,控制膜厚的方式以制备彩色电池片。但采用该方法,片间膜色均匀性差,工艺重复性差且成品率低。
发明内容
本发明针对现有技术中存在的问题,提出一种彩色晶硅电池片的制备方法,它根据不同的工艺时间、硅烷流量和氨气流量的组合获得需要的电池片外观颜色。
优选的,具体步骤是:
步骤1:根据膜色外观要求,设定镀膜工艺;
步骤2:将需要镀膜的硅片插入至石墨舟中,进入镀膜炉管;
步骤3:炉管抽真空并恒温至450℃;
步骤4:通入硅烷和氨气,并按照步骤1设定的镀膜工艺进行镀膜;
步骤5:炉管清洗抽真空后,回压出舟;
步骤6:石墨舟冷却降温后,电池片卸舟。
具体的,步骤1中,镀膜工艺时间设置为650S,控制硅烷流量为1000sccm,氨气流量3000sccm,获得金色镀膜外观。
具体的,步骤1中,镀膜工艺时间设置为1000S,控制硅烷流量为1000sccm,氨气流量3000sccm,获得绿色镀膜外观。
具体的,步骤1中,镀膜工艺时间设置为650S,控制硅烷流量为1000sccm,氨气流量4500sccm,获得浅黄色镀膜外观。
具体的,步骤1中,镀膜工艺时间设置为1000S,控制硅烷流量为1000sccm,氨气流量6000sccm,获得红色镀膜外观。
优选的,步骤4中,工艺压力1800mTorr,占空比4:35。
本发明的有益效果
本发明提供的新型彩色电池片镀膜工艺,在传统电池工艺不增加工序,通过控制硅氮比和镀膜工艺时间,显著提高膜色的均匀性和一致性,工艺可控性、重复性及成品率得到大幅度的提高。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步说明,但本发明的保护范围不限于此:
实施例1:
步骤1:为获得金色外观的太阳能电池片,设定镀膜工艺具体如表1所示:
表1:外观膜色工艺配方
步骤2:将需要镀膜的硅片插入至石墨舟中,进入镀膜炉管;
步骤3:炉管抽真空并恒温至450℃;
步骤4:通入硅烷和氨气,并按照步骤1设定的镀膜工艺进行镀膜,并设定工艺压力1800mTorr,占空比4:35;
步骤5:炉管清洗抽真空后,回压出舟;
步骤6:石墨舟冷却降温后,电池片卸舟。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的