[发明专利]彩色晶硅电池片的制备方法

权利要求书

1.一种彩色晶硅电池片的制备方法，其特征在于它根据不同的工艺时间、硅烷流量和氨气流量的组合获得需要的电池片外观颜色。

2.根据权利要求1所述的彩色晶硅电池片的制备方法，其特征在于具体步骤是：

步骤1：根据膜色外观要求，设定镀膜工艺；

步骤2：将需要镀膜的硅片插入至石墨舟中，进入镀膜炉管；

步骤3：炉管抽真空并恒温至450℃；

步骤4：通入硅烷和氨气，并按照步骤1设定的镀膜工艺进行镀膜；

步骤5：炉管清洗抽真空后，回压出舟；

步骤6：石墨舟冷却降温后，电池片卸舟。

3.根据权利要求2所述的彩色晶硅电池片的制备方法，其特征在于步骤1中，镀膜工艺时间设置为650S，控制硅烷流量为1000sccm，氨气流量3000sccm，获得金色镀膜外观。

4.根据权利要求2所述的彩色晶硅电池片的制备方法，其特征在于步骤1中，镀膜工艺时间设置为1000S，控制硅烷流量为1000sccm，氨气流量3000sccm，获得绿色镀膜外观。

5.根据权利要求2所述的彩色晶硅电池片的制备方法，其特征在于步骤1中，镀膜工艺时间设置为650S，控制硅烷流量为1000sccm，氨气流量4500sccm，获得浅黄色镀膜外观。

6.根据权利要求2所述的彩色晶硅电池片的制备方法，其特征在于步骤1中，镀膜工艺时间设置为1000S，控制硅烷流量为1000sccm，氨气流量6000sccm，获得红色镀膜外观。

7.根据权利要求2-6任一项所述的彩色晶硅电池片的制备方法，其特征在于步骤4中，工艺压力1800mTorr，占空比4:35。