[发明专利]基板传送系统

说明书

本发明提供了一种基板传送系统，通过导向装置支撑基板，通过传送装置传送所述基板，从而能够实现对于所述基板的传送；进一步的，所述导向装置和所述基板之间存在间隙，由此在所述基板传送的过程中，能够极大的降低、甚至避免所述导向装置和所述基板之间的摩擦；更进一步的，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板，从而也能够避免所述传送装置和所述基板之间的摩擦，由此能够使得整个基板的传送过程中摩擦极小、甚至无摩擦，从而也极大的降低、甚至避免了基板传送过程中颗粒的产生，提高了基板传送的可靠性。

技术领域

本发明涉及显示器制造设备技术领域，特别涉及一种基板传送系统。

背景技术

平板显示器(Flat Panel Display，FPD)本身就是一块平板，没有CRT(CathodeRay Tube)显示器中的电子束管，从而能够做得非常薄，是一种比较理想的显示器。平板显示器包括等离子体显示器(PDP)、液晶显示器(LCD)、有机电致显示器(OLED)等。

在现有的平板显示器在制作过程中，一般需要利用基板传送系统传送平板显示器中所使用的基板，以进行不同制程之间的转换，从而在所述基板上形成不同的功能器件。

现有的基板传送系统一般采用滚轮传送系统，如图1所示，所述滚轮传送系统1主要包括传动轴10及套设固定在所述传动轴10上的多个滚轮11。基板2平放于由多个所述滚轮11构成的水平面上，当传动轴10转动时，带动多个所述滚轮11转动，随着多个所述滚轮11的转动又带动所述基板2运动，从而实现对所述基板2的传送。

这种滚轮传送系统属于滚轮与基板接触的方式，由于受滚轮洁净度和震动的影响，基板会持续污染和震动，影响基板洁净度并且加大了破片和裂纹产生的风险。此外，由于滚轮间距的问题，对应的基板厚度也比较局限。进一步的，这种传送方式因传送物(在此为基板)和滚轮之间的摩擦，滚轮会发生磨损，从而会造成滑动而发生移送不到位，所以需周期性更换滚轮，由此也增加了生成成本。更进一步的，基板根据与滚轮的摩擦获得滚轮的回转力时，因摩擦会发生颗粒(Particle)的污染，需周期性进行清洁；而为了保证传送位置的精度，在滚轮两段会增加导向轮(如图1中12所示)，基板在传送的过程中会与导向轮产生摩擦，进一步增加了基板的颗粒(Particle)污染的数量。

由此，如何改善基板传送过程中的摩擦问题，降低基板传送过程中产生的颗粒，提高基本传送的可靠性成了本领域技术人员需要解决的一个问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板传送系统，以解决现有技术中基板传送过程中摩擦严重的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种基板传送系统，所述基板传送系统用于传送一基板，所述基板传送系统包括：

导向装置，所述导向装置用于支撑所述基板且所述导向装置与所述基板之间存在间隙；

传送装置，所述传送装置用于传送所述基板，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板并进行传送。

可选的，在所述的基板传送系统中，所述导向装置包括至少一个导板，每个所述导板上至少设置有一个开口，所述开口中能够喷出气体。

可选的，在所述的基板传送系统中，所述导向装置还包括调节阀，所述调节阀能够调节每个开口中喷出的气体量。

可选的，在所述的基板传送系统中，所述调节阀能够调节每个开口的大小以调节每个开口中喷出的气体量。

可选的，在所述的基板传送系统中，所述导向装置还包括至少一个进气管，每个所述导板中至少设置有一个所述进气管，所述进气管向所述开口提供气体。

可选的，在所述的基板传送系统中，所述调节阀能够调节所述进气管的气体供应量以调节每个开口中喷出的气体量。