[发明专利]基板传送系统

权利要求书

1.一种基板传送系统，所述基板传送系统用于传送一基板，其特征在于，所述基板传送系统包括：

导向装置，所述导向装置用于支撑所述基板且所述导向装置与所述基板之间存在间隙；

传送装置，所述传送装置用于传送所述基板，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板并进行传送。

2.如权利要求1所述的基板传送系统，其特征在于，所述导向装置包括至少一个导板，每个所述导板上至少设置有一个开口，所述开口中能够喷出气体。

3.如权利要求2所述的基板传送系统，其特征在于，所述导向装置还包括调节阀，所述调节阀能够调节每个开口中喷出的气体量。

4.如权利要求3所述的基板传送系统，其特征在于，所述调节阀能够调节每个开口的大小以调节每个开口中喷出的气体量。

5.如权利要求3所述的基板传送系统，其特征在于，所述导向装置还包括至少一个进气管，每个所述导板中至少设置有一个所述进气管，所述进气管向所述开口提供气体。

6.如权利要求5所述的基板传送系统，其特征在于，所述调节阀能够调节所述进气管的气体供应量以调节每个开口中喷出的气体量。

7.如权利要求5所述的基板传送系统，其特征在于，每个所述导板中设置有多个所述进气管，多个所述进气管中气体的流动方向完全不相同或者不完全相同。

8.如权利要求2～7中任一项所述的基板传送系统，其特征在于，每个所述导板上设置有多个所述开口，多个所述开口沿着所述基板的传送方向均匀的分布于所述导板上。

9.如权利要求1～7中任一项所述的基板传送系统，其特征在于，所述传送装置包括运动件及设置于所述运动件上的吸附件，所述吸附件能够沿着所述基板的传送方向移动，并且所述吸附件能够吸附所述基板。

10.如权利要求9所述的基板传送系统，其特征在于，所述吸附件相对所述运动件移动；或者，所述运动件包括第一运动件和第二运动件，所述第一运动件能够相对所述第二运动件移动，所述吸附件固定于所述第一运动件上。

11.如权利要求10所述的基板传送系统，其特征在于，所述基板传送系统还包括动力装置，所述动力装置能够驱动所述吸附件移动或者驱动所述第一运动件移动。