[发明专利]一种玻璃基板旋转对位传输机有效
申请号: | 201810147027.1 | 申请日: | 2018-02-12 |
公开(公告)号: | CN108198777B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 安志强;张辽;李海伟;贺海亮 | 申请(专利权)人: | 北京京城清达电子设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18 |
代理公司: | 北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙) 11583 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 旋转 对位 传输 | ||
本发明提供一种玻璃基板旋转对位传输机,包括:机架10、对位支撑单元20、旋转升降单元30、主传输单元40以及过渡传输单元50,其中,对位支撑单元20用于对玻璃基板60进行对位,旋转升降单元30用于调节玻璃基板60的高度以及水平方向,主传输单元40用于传输玻璃基板60以及为玻璃基板60进行初步整形,过渡传输单元50用于将玻璃基板60传输到所述主传输单元40上,从而实现玻璃基板60的旋转对位。
技术领域
本发明属于大型玻璃自动传输连线设备领域,更具体涉及一种玻璃基板旋转对位传输机。
背景技术
大型玻璃基板的自动传输连线设备是太阳能行业和液晶行业产线的关键设备之一。在大型液晶玻璃基板和太阳能玻璃基板生产的自动传输过程中,需要对玻璃基板的位置进行精确调整,为了满足生产工艺和自动化进程的需要,一种旋转对位传输机应用而生,为下道加工工艺提供必要的位置基础,将上游传输来的玻璃基板以不同的需求姿态传输至后道加工工序中,以保证玻璃基板位置达到实际加工工艺的精度要求。玻璃的自动旋转对位传输机在大型玻璃基板的自动传输连线设备的自动传输过程中起着举足轻重的作用。随着液晶屏和太阳能发电基板需求量的不断增加,传输线的自动化程度要求也在不断提高,在其自动生产连线的传输过程中,有多道工序需要对玻璃基板进行旋转对位,玻璃基板旋转对位的运动特性直接影响到玻璃基板的整形定位精度,该大型玻璃旋转对位传输机,是根据玻璃基板的大小及定位整形的实际需求来灵活改善玻璃基板旋转对位的运动特性,从而优化基板玻璃的定位整形精度,在满足生产工艺和性能的基础上,提高设备的性能和稳定性。
发明内容
鉴于上述技术问题,鉴于上述技术问题,本发明一种玻璃基板旋转对位传输机,包括:机架10、对位支撑单元20、旋转升降单元30、主传输单元40以及过渡传输单元50,
其中,对位支撑单元20用于对玻璃基板进行对位,包括UVW平台21、多个对位镜头组件22、多个顶销支撑组件23,所述UVW平台 21和多个对位镜头组件22安装在机架10上,所述多个顶销支撑组件23安装在UWV平台21上;
进一步,所述旋转升降单元30用于调节玻璃基板的高度以及水平方向,包括多个升降器31、马达32、升降框架33和旋转顶板34,所述DD马达32底面安装于升降框架33上,顶面与旋转顶板34连接,所述升降框架33与多个升降器31连接,所述多个升降器31安装在机架10上,
进一步,所述主传输单元40用于传输玻璃基板以及为玻璃基板进行初步整形,包括主传输框架41、多个滚轮组件42和整形组件43,所述多个滚轮组件42和整形组件43布置在主传输框架41上,所述主传输框架41安装在旋转顶板34上;
所述过渡传输单元50用于将玻璃基板传输到所述主传输单元40 上,包括多个框架升降装置51、过渡传输框架52和多个过渡滚轮组件53,所述多个过渡滚轮组件53通过轴承均匀布置在过渡传输框架 52上,所述过渡传输框架52布置在框架升降装置51上,通过框架升降装置51实现过渡传输框架52和多个过渡滚轮组件53的升降。进一步,所述对位镜头组件22包括镜头220和支撑镜头的支架221,所述镜头220设置在支撑镜头的支架221上,可以上下左右移动,所述支撑镜头的支架221设置在机架10上,所述对位镜头组件22设置有两个,分别对应布置在玻璃基板的其中一组对角位置。
进一步,所述多个顶销支撑组件23包括顶销托架2300和设置在顶销托架上的支撑矩阵,所述支撑矩阵由多个支撑滚球组件2310、多个支撑顶销组件2320以及多个真空支撑滚球组件2330排列组合构成,支撑矩阵的四个角为真空支撑滚球组件2330,支撑矩阵的其余位点由支撑滚球组件2310、支撑顶销组件2320以及真空支撑滚球组件2330穿插排列构成;
所述支撑滚球组件2310包括滚球万向球2311、滚球支柱2312、滚球导向轴支座2313,所述滚球支柱通过滚球导向轴支座固定在顶销托架上,滚球支柱上面安装有滚球万向球,所述滚球万向球是可以滚动的;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京城清达电子设备有限公司,未经北京京城清达电子设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810147027.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造